Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9202876 à vendre en France

ID: 9202876
Taille de la plaquette: 8"
Poly etcher, 8" (2) Chambers.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + est un réacteur de nouvelle génération conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute performance. C'est un équipement multi-chambres, multi-gaz, gravure ionique réactive (RIE) qui est capable de traiter des substrats de différentes tailles, formes et matériaux dans un temps de cycle réduit. AMAT P5000 MxP + est capable de traiter plusieurs processus simultanément. Cela est réalisé grâce à une architecture de système efficace et à sa capacité de loger jusqu'à quatre chambres de processus, collecteurs de gaz et serrures de charge. En outre, APPLIED MATERIALS P5000 MxP + dispose d'une unité automatisée de transfert de plaquettes avec un bras robotique qui permet un transport rapide du substrat. P5000 MxP + est conçu pour fournir un contrôle précis des paramètres du processus, permettant aux utilisateurs de fabriquer des structures complexes avec une robustesse accrue du processus. Il utilise un large éventail de procédés de gravure et de dépôt, tels que la gravure par ions réactifs profonds et peu profonds (DRIE et SRIE), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt thermique chimique en phase vapeur (TCVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et la gravure par couche atomique (ALE). Cela permet l'ingénierie sur mesure des structures et des matériaux pour les dispositifs micro/nanoélectroniques de haute performance. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + est livré avec une gamme de contrôleurs et de systèmes de surveillance avancés, y compris un contrôleur de processus et d'état, un contrôleur de débit de gaz, des systèmes de sécurité et de surveillance de chambre, des moniteurs de vide et un moniteur automatisé d'intégrité des plaquettes. Ils permettent aux opérateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus en temps réel, ce qui permet un contrôle optimal du processus. De plus, la conception high-tech d'AMAT P5000 MxP + offre une meilleure efficacité globale de la machine, notamment en réduisant les temps de chauffage et de refroidissement, en améliorant la durée de vie des sources et en uniformisant les processus. De plus, l'outil est compatible avec plusieurs accessoires tels que des capteurs à plasma, des régulateurs de débit massique fixes et rotatifs, des dispositifs de régulation de température, des manomètres, des systèmes de vide et des éléments de régulation de température. Enfin, APPLIED MATERIALS P5000 MxP + dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet une configuration et une programmation de processus rapides et faciles. Cela fait de l'actif un choix souhaitable pour les entreprises qui cherchent à adopter des techniques de procédé avancées pour leurs procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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