Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 TEOS #293824836 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 TEOS est un équipement de réacteur à haut débit de pointe utilisé pour la croissance de couches minces pour un large éventail d'applications. Le système est conçu pour des applications impliquant le tranchage, la gravure et le dépôt de matériaux tels que le silicium, le dioxyde de silicium, les nitrures métalliques, les oxydes métalliques et d'autres matériaux diélectriques. AMAT P5000 TEOS est équipé d'une source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR), de techniques d'aide à la gravure plasma directionnelle et d'injection directe de liquide (IDD). La source de plasma ECR est utilisée pour créer un environnement plasma fortement ionisé avec une large gamme de paramètres plasmatiques. La gravure directionnellement assistée par plasma permet d'obtenir une gravure précise des matériaux à la surface du substrat en cours de traitement. Ceci permet une gravure précise et un dépôt rapide des films. La technologie DLI, qui est une variation du dépôt chimique en phase vapeur (CVD), est utilisée pour déposer rapidement des films d'épaisseur, de composition et de structure uniformes. L'unité a un design de chambre modulaire et peut être combinée avec une gamme d'autres configurations de chambre pour des applications spécifiques. Il utilise un robot avancé de mouvement et une machine de transport de plaquettes pour assurer un débit élevé et minimiser l'intervention manuelle et les erreurs. L'outil est également équipé de systèmes sophistiqués de contrôle et de surveillance de la température. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS P5000 TEOS est un actif de réacteur polyvalent, à haut débit et avancé conçu pour le dépôt et la gravure de couches minces. Il est capable de fournir une gravure précise, un dépôt à haute vitesse et des films uniformes avec un excellent rendement. Les systèmes de contrôle avancés et le contrôle automatisé des processus garantissent que d'excellents films peuvent être développés avec des résultats reproductibles et fiables.