Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #101854 à vendre en France
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ID: 101854
Taille de la plaquette: 6"
Etch systems, 6"
(Qty 3) ILD depostion and (Qty 1) W deposition
There are 4 chambers in each tool
Vacuum packaged and wooden crated since 2002
1992-1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un outil de traitement de semi-conducteurs utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour créer des circuits intégrés. AMAT P-5000 est un réacteur d'oxydation thermique à quatre zones permettant un traitement uniforme et cohérent. Cet équipement utilise un tube à quartz comme chambre de réaction pouvant atteindre 1500 ° C Les commandes permettent d'ajuster la température, la pression et d'autres paramètres pour obtenir une surface oxydée avec précision. Le système comprend quatre zones : préchauffage, oxydation, refroidissement et nettoyage des wafers. La zone de préchauffage est composée de deux dispositifs de chauffage qui sont utilisés pour élever la température de la plaquette. La température est surveillée avec des thermocouples et gérée avec un régulateur de température pour s'assurer que la température est exacte. La zone d'oxydation utilise une chambre de réaction pour effectuer le processus d'oxydation. La chambre utilise une combinaison d'un tube à quartz, d'une pompe de diffusion à deux étages, d'un flux forcé d'oxydants et/ou de réducteurs, et d'une source de plasma hyperfréquence. Cette combinaison produit une surface oxydée avec précision. La zone de refroidissement est utilisée pour ramener la température de la plaquette à un niveau sûr. Pour ce faire, on utilise une unité de purge de gaz et des puits de chaleur situés dans la chambre. La zone de nettoyage de la plaquette est utilisée pour nettoyer et polir la surface oxydée de la plaquette. Cela se fait avec une plaque chaude et un processus de nettoyage chimique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine P 5000 est hautement personnalisable et offre de nombreuses fonctionnalités telles que : contrôle de la température à double zone, micro-ondes pour adapter le dépôt du matériau, et diverses autres commodités pour augmenter la productivité. Cet outil est idéal pour une utilisation dans la recherche et la production de semi-conducteurs de pointe. APPLIED MATERIALS P-5000 est capable de produire des résultats très précis, uniformes et reproductibles et est un outil essentiel pour l'industrie des semi-conducteurs.
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