Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #152721 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un équipement entièrement automatisé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs à haute productivité. Il est capable de déposer, graver et nettoyer tous les matériaux nécessaires à la réalisation de circuits intégrés. Le système combine des capacités avancées de contrôle des processus, de manipulation et de surveillance des substrats. AMAT P-5000 utilise une architecture modulaire composée d'une source de dépôt, d'un loadlock, d'une chambre centrale de traitement et d'une chambre de maintenance. La source de dépôt contient la source chimique, la pompe turbomoléculaire et le réchauffeur de sublimation, tandis que la chambre centrale de procédé possède une pompe à vide, des systèmes de distribution de gaz et d'autres composants nécessaires aux processus de dépôt et de gravure. Pour la fabrication de planarizations chimiques-mécaniques, LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 comprennent une station CMP avec une unité de livraison chimique et un ensemble de plots rotatifs. Le loadlock a deux portes pour transférer des substrats d'un environnement externe et a été conçu pour minimiser l'introduction de particules. Cette machine est capable de manipuler des substrats de quatre à douze pouces de diamètre. L'outil comprend une forte gamme de capacités de processus pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs. Le dépôt diélectrique sur silicium, titane et tungstène est soutenu par des technologies de dépôt assistées par ions à haut débit. La gravure des métaux et des couches diélectriques est permise par la gravure par pulvérisation magnétron, la gravure par plasma à couplage inductif et la pulvérisation physique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P-5000 supporte également des processus thermiques tels que la diffusion, le recuit et la soudure. L'actif a été développé en mettant l'accent sur une productivité et une répétabilité élevées, ce qui le rend idéal pour des emplois de production à grande échelle. Il atteint ces objectifs en intégrant des algorithmes sophistiqués de contrôle des processus, une interface utilisateur facile à utiliser, un dépannage automatisé et la traçabilité. En outre, le P 5000 peut être facilement intégré à de nombreux systèmes d'automatisation en usine existants, ce qui en fait une solution viable dans les environnements de production de masse. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le large éventail de capacités de procédé, la facilité d'utilisation, le débit élevé et sa capacité à être intégré dans de nombreuses installations de production existantes en font un outil précieux pour la fabrication d'appareils. Il permet une production rapide et efficace de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.