Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159344 à vendre en France

Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un outil conçu pour la gravure et le dépôt de matériaux semi-conducteurs. Il est couramment utilisé dans la fabrication de circuits intégrés, de couches minces et de divers autres dispositifs optoélectroniques. AMAT P-5000 est capable de fonctionner à des températures basses et élevées, ainsi que des pressions allant jusqu'à 10-3 à 10-5 mbar. Il peut également être utilisé pour le traitement thermique rapide (RTP) et le recuit thermique rapide (RTA). La chambre de base de MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est constituée d'un tube de quartz de 9 "chauffé à des températures allant jusqu'à 850C par sa bobine d'induction RF, et d'un dôme de quartz au-dessus. Le coeur du réacteur est un équipement de distribution de gaz qui distribue le gaz de gravure ou de dépôt de manière uniforme. Il existe deux entrées de gaz externes qui peuvent être commandées indépendamment soit au tube de quartz, soit au dôme de quartz. AMAT P5000 dispose également d'un régulateur de débit massique intégré (MFC) pour contrôler avec précision le débit des gaz. Le support de substrat fait partie intégrante de l'AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000, qui comprend une étagère réglable et un système de contact électrique à 6 points. Ceci assure une température uniforme sur toute la surface de l'échantillon. Un mécanisme de verrouillage de l'implant est également intégré dans le haut de l'unité, permettant aux utilisateurs de placer des substrats dans leurs emplacements respectifs de gravure et de dépôt. APPLIED MATERIALS P5000 est contrôlé par le contrôleur logique programmable spécial (PLC) d'AMAT. Cela offre un haut degré de répétabilité et de précision. Il est également intégré aux systèmes de surveillance des substrats et des processus qui permettent aux utilisateurs de surveiller leurs paramètres de processus en temps réel. Le logiciel de diagnostic permet également aux utilisateurs d'accéder aux données, de visualiser les graphiques de performance, les problèmes de dépannage et de modifier les paramètres de la machine à distance. Enfin, AMAT P 5000 propose également des configurations et des fonctionnalités supplémentaires qui peuvent être adaptées aux besoins des clients. Les options comprennent divers types de systèmes de chauffage, de refroidissement et de mélange de gaz, ainsi que des intrants de matériaux supplémentaires, des capteurs et la surveillance des processus. Au total, le P 5000 est un outil essentiel et fiable pour la gravure et le dépôt dans les industries des semi-conducteurs et de l'optoélectronique.