Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188548 à vendre en France
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AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur monocouche à environnement hostile conçu spécifiquement pour les procédés de fabrication avancés. Cet équipement de traitement avancé fournit un contrôle de la température et de la pression extrêmes, permettant aux utilisateurs de cibler avec précision les processus de dépôt et de gravure dans des environnements à haute et basse pression. La gamme de température de l'AMAT P-5000 s'étend de 350 degrés Celsius à 2000 degrés Celsius, et la pression varie de 1 Torr à plusieurs centaines Torr, permettant le traitement d'une grande variété de matériaux tels que du silicium polycristallin, des oxydes, des nitrures, des métaux et des alliages. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur P 5000 est équipé de plusieurs technologies qui aident au traitement précis, y compris les barrières de diffusion, les sources d'ions et les plaques d'échappement enduites. Les barrières de diffusion sont réalisées en Inconel et Hastelloy, ce qui les rend résistantes aux chocs thermiques, à la corrosion et à l'oxydation, et contribue à empêcher le mélange des gaz à l'intérieur de la chambre. Les sources d'ion utilisées dans AMAT P5000 sont conçues pour produire des types différents d'ions, être il la photo, hydride, a circulé, la cathode chaude, ou creuse, selon la matière qui a besoin d'être traitée. Les plaques d'échappement sur AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 sont revêtues d'un matériau SiC pour éviter la réaction du dos avec le matériau du substrat, ce qui contribue à réduire la contamination à l'intérieur de la chambre du réacteur et protège la qualité des matériaux traités. APPLIED MATERIALS P5000 dispose également d'une large gamme de capacités d'automatisation avancées, y compris des systèmes de manutention des plaquettes, d'étalonnage automatisé et de stockage et de contrôle des fichiers de recettes. Le système de manutention des plaquettes permet aux utilisateurs de déplacer précisément les plaquettes dans et hors de la chambre de processus. Les processus d'étalonnage automatisés peuvent réduire les cycles d'exécution et optimiser la précision des processus. Enfin, les fichiers de recette peuvent stocker jusqu'à 250 recettes, offrant une répétabilité cohérente et permettant aux utilisateurs de reprendre rapidement les processus interrompus. Dans l'ensemble, P5000 fournit des capacités de contrôle et de traitement de haute précision pour un large éventail de types de matériaux. Les caractéristiques avancées telles que l'étalonnage automatisé, la manutention manuelle et très précise des plaquettes, et sa gamme étendue de température et de pression font de P-5000 le réacteur idéal pour les procédés de fabrication avancés.
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