Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #191829 à vendre en France

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ID: 191829
Taille de la plaquette: 6"
SiN systems, 6" (3) chambers.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur fiable et polyvalent utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. AMAT P-5000 est un équipement de traitement thermique vertical monobloc avec une grande zone de traitement. Le réacteur se compose d'un système de vide hautement spécialisé et d'une unité de distribution de gaz, d'une chambre de traitement contrôlée par la température et d'une puissante machine de manutention des plaquettes. L'outil sous vide de MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est conçu pour réduire le nombre de particules et assurer un environnement propre. Il consiste en un actif de vide de convection, des pompes turbo-moléculaires, des vannes de grille et de spécialité, et un ensemble de filtres pour maintenir de faibles niveaux de contamination. Le modèle sous vide a pour fonction d'extraire les particules indésirables et de maintenir une atmosphère propre dans la chambre de procédé. L'équipement de distribution de gaz de P-5000 dispose d'un collecteur de post-riser à coût de possession (CO2) actif et d'une tuyère à faible puissance et à rendement thermique élevé. Le post-riser CO2 aide à gérer la livraison de gaz directement à la surface de la plaquette. La buse à faible puissance et à rendement thermique est conçue pour réduire la formation de bulles dans la chambre de procédé, assurant la précision et la répétabilité pendant le processus. La chambre de procédé est équipée d'éléments à température contrôlée pour assurer une régulation précise de la température. Il dispose également d'un système avancé de purge de l'azote et de l'argon pour maintenir une pression de gaz faible. Le réacteur a la capacité de traiter jusqu'à 10 cm (4 pouces) de plaquettes. L'unité de manutention des plaquettes de P 5000 comprend le chargement et le déchargement des robots à trois voies, le nettoyage par ultrasons de cassette à cassette et une machine de transfert atmosphérique sans contact. L'outil de chargement et de déchargement robot est conçu pour une manipulation efficace et répétable de plusieurs plaquettes sans contact avec la chambre de processus. Le matériel de nettoyage à ultrasons cassette-à-cassette utilise un nettoyage basse fréquence et basse pression pour nettoyer et inspecter les plaquettes, améliorer les rendements et augmenter la répétabilité. AMAT P5000 est un réacteur efficace, fiable et polyvalent utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre un processus thermique à haut rendement, une capacité de livraison de gaz avancée, un contrôle de température de précision et une gestion précise du temps de cycle. APPLIED MATERIALS P5000 assure un traitement reproductible, un environnement de vide propre et une livraison efficace des gaz réactifs.
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