Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332 à vendre en France
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ID: 293587332
Taille de la plaquette: 6"
PECVD Systems, 6"
(3) DXL
8-Slots storage.
La série AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un procédé de dépôt par lots économique, polyvalent et peu coûteux. La série AMAT P-5000 est conçue pour la production à l'échelle des semi-conducteurs et/ou des nanofabrications de microélectroniques, optoélectroniques, MEMS, dispositifs de puissance et autres applications. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La série P 5000 est conçue pour une grande répétabilité, fiabilité et stabilité sur sa gamme de fonctionnement, avec une approche simplifiée et modulaire qui permet un réglage facile et la polyvalence tout en répondant à diverses exigences dans la gamme. P-5000 intègre une conception avancée de réacteur à flux continu qui permet aux utilisateurs d'atteindre l'uniformité et la couverture même sur les structures et substrats difficiles à enrober. Le réacteur est équipé d'une source d'énergie pulsée à débit variable, permettant aux utilisateurs de surveiller de près la vitesse de dépôt. La série AMAT P5000 est conçue pour offrir un faible coût total de possession, même avec ses capacités de puissance élevées, avec un besoin réduit de pièces de rechange et d'entretien coûteux. Comme solution économique pour les procédés de dépôt par lots, la série APPLIED MATERIALS P5000 comprend des caractéristiques telles que le filtre anti-contamination isolé sous vide, qui peut être utilisé pour protéger contre la contamination des sous-produits. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La série P 5000 repose sur des systèmes de pompage à diffusion à deux étages à une ou deux pompes et un refroidissement cryogénique pour obtenir des pressions ultra-basses (< 1 x 10-7 Torr) et un contrôle efficace de la température afin de minimiser les effets thermiques sur la performance du film. Le réacteur est conçu pour supporter des procédés nécessitant des températures allant de la température ambiante à plus de 500 ° C Pour une plus grande flexibilité de l'utilisateur, la série APPLIED MATERIALS P-5000 offre quatre paramètres de contrôle pour l'épaisseur cible, l'uniformité et la répétabilité : le niveau de puissance, la vitesse de dépôt, l'épaisseur du film et l'étape temporelle. Le dispositif dispose également de plusieurs capteurs de processus et peut être utilisé en conjonction avec de grands systèmes d'acquisition de données. La série AMAT P 5000 comprend des interfaces utilisateur intuitives, permettant le fonctionnement à distance, le personnel compétent peut gérer efficacement les dépôts sans réglage pratique fréquent du système. De futures mises à jour et mises à jour sont également disponibles pour ceux qui ont besoin d'une personnalisation plus poussée. Le système est construit pour une longue durée de vie.
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