Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594313 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur monocouche utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce réacteur est utilisé pour diverses applications telles que le polissage chimico-mécanique (CMP), l'oxydation, la nitridation et le dépôt de métaux et de matériaux isolants. Sa conception polyvalente en fait l'outil idéal pour la production des derniers circuits intégrés haute performance. Le réacteur AMAT P-5000 utilise un procédé de type flux qui permet un contrôle précis et cohérent de l'environnement dans la chambre de réaction. Ce procédé d'écoulement permet également un contrôle serré des mélanges gazeux utilisés dans différents procédés. La chambre de réaction est équipée de multiples sources de plasmas réactifs ainsi que d'un système avancé de transport de plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur P 5000 offre un certain nombre de caractéristiques qui lui permettent de fournir des performances supérieures. Il a une très grande uniformité de couverture sur l'ensemble de la tranche, assurant que le processus produit les résultats souhaités. Le système CMP intégré supporte de multiples techniques, telles que le lisier, l'abrasif fixe et la planarisation chimico-mécanique (CMP), pour une planarité supérieure sur l'ensemble de la plaquette. La plate-forme dispose également d'un bras robotique de haute précision qui assure une manipulation et une manipulation précises et répétables de la plaquette, permettant un placement précis de la plaquette dans la chambre de réaction et permettant l'optimisation des résultats pour des applications critiques. Il a automatisé la gestion des recettes pour une répétabilité uniforme entre les processus et est capable de gérer plusieurs variables de processus. Le réacteur APPLIED MATERIALS P-5000 offre également une variabilité de température et une surveillance supérieures afin de maintenir un contrôle précis pendant le traitement. Il permet également un meilleur contrôle des gaz réactifs, en veillant à ce que seuls les gaz désirés soient utilisés dans la réaction. Enfin, le réacteur supporte également des recettes avancées, ce qui lui permet d'être utilisé dans des procédés difficiles et complexes. En résumé, le réacteur APPLIED MATERIALS P5000 est un outil très sophistiqué et polyvalent qui est idéal pour une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il a fait progresser l'uniformité et la répétabilité en assurant un contrôle précis des processus. Sa variabilité de température, son contrôle précis des gaz réactifs, sa gestion automatisée des recettes et d'autres caractéristiques avancées offrent une qualité et une productivité supérieures.
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