Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293603569 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un équipement de traitement de plasma in situ pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant une plate-forme pour diverses fonctions de traitement de matériaux à base de plasma. Le système comprend une variété de caractéristiques uniques, y compris une chambre à vide entièrement métallique, un support de substrat chauffé et une unité automatisée de transport de plaquettes. AMAT P-5000 fonctionne à un large éventail de paramètres de processus, permettant un contrôle précis de l'influence de la surface du matériau. Il est capable de travailler avec une variété de gaz, tels que l'oxygène, l'argon et l'azote. La source de plasma de la machine est un magnétron à micro-ondes de 2,45 GHz, contrôlé par une alimentation RF multi-niveaux. Il a été conçu pour soutenir le processus plasma haute densité, lui donnant la capacité d'accomplir une variété de tâches, telles que le dépôt de couches minces, les surfaces de gravure et les substrats carbonisants. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre à vide de P 5000 est construite avec un corps entièrement métallique pour assurer une uniformité thermique optimale et un alliage résistant à l'érosion plasmatique. La chambre dispose également d'une double vanne à vide pour assurer une évacuation complète à basse pression de procédé et d'une fenêtre sans gasketless pour permettre la visualisation du traitement du substrat. La chambre de serrure simplifiée est équipée d'une fonction de chargement et de déchargement en une seule touche, ce qui facilite le transfert des échantillons de la salle blanche vers AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000. AMAT P 5000 est capable de maintenir des températures jusqu'à 350 ° C et une pression maximale de 450 torr. Il est équipé d'un support de substrat performant qui permet un chauffage précis et uniforme de la surface de l'échantillon à +/- 3 ° C près. Une gamme de suscepteurs et de substrats soulevés sont compatibles avec le porte-substrat pour permettre le traitement de différentes tailles et formes d'échantillons. L'actif de transport de la plaquette est conçu pour être ergonomique et convivial, avec des codes de programme automatisés contrôlant chaque étape du flux de processus. AMAT P5000 est également équipé d'un modèle de contrôle avancé, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision les paramètres de leur processus. Cela comprend la capacité de suivre et de surveiller la température, la pression et les flux de gaz du processus, ainsi que de fixer les limites d'alarme et les paramètres du processus log. Cela rend le MATÉRIEL APPLIQUÉ P-5000 un outil puissant pour l'optimisation de processus et de la production de résultats repeatable et conséquents.