Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293620899 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
Vendu
ID: 293620899
System Process: Nitride.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur à haute température (HTCVD) qui est utilisé pour le dépôt de couches minces, de revêtements et de diélectriques sur des substrats jusqu'à 6 pouces. Il est équipé d'un tube à quartz double paroi froide, permettant le dépôt simultané de matériaux des deux côtés des substrats. La conception du double tube est combinée à un aménagement optimisé de zone refroidie, conçu pour minimiser les effets de la dérive des particules lors du dépôt de couches minces très uniformes. AMAT P-5000 est capable de l'opération aux températures jusqu'à 1200C ou plus haut, en accomplissant la déposition d'un large éventail de matériel, en incluant le dioxyde de silicium, le silicium nitride, tantalum nitride et une variété d'autre métal nitrides et d'oxydes. L'équipement de chauffage des matériaux appliqués P 5000 utilise un foyer à base de céramique, qui est conçu pour des démarrages rapides et des températures uniformes avec des gradients de température minimes sur le substrat. P5000 est équipé d'un système de spectroscopie optique embarquée, permettant la surveillance et le contrôle in situ des dépôts de films. En outre, il dispose d'une unité de contrôle dynamique de la pression, qui assure la répétabilité du processus en maintenant une température de substrat répétable, le débit de gaz et la pression du bain. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 est également équipé de vannes multiples permettant la commutation des gaz de procédé, et le contrôle des matériaux produits par le silane, qui assurent un dépôt uniforme des films sur les substrats. Les sources de gaz sont acheminées aux P-5000 par des systèmes de tuyauterie blindés, ce qui réduit au minimum le risque de contamination. APPLIED MATERIALS P5000 dispose également d'une machine automatique de filtration des particules intégrée pour purifier les gaz de procédé, assurant la meilleure qualité des films. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 est conçu pour être facilement intégré dans une variété de systèmes de dépôt, permettant un procédé de fabrication plus simple et plus économique. En outre, il est conçu pour être facilement entretenu et entretenu, ce qui réduit encore le coût de la propriété. En intégrant les derniers développements de la technologie HTDV, APPLIED MATERIALS P-5000 est idéal pour la production de films, de revêtements et de diélectriques de haute qualité et à haut débit pour un large éventail d'applications. C'est un choix idéal pour les universités, les institutions de recherche et de fabrication avancées, ainsi que les fabricants d'automobiles et de dispositifs médicaux.
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