Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729488 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 293729488
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1989
CVD System, 6" Process: TEOS 1989 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Le réacteur est un outil semi-conducteur spécialisé utilisé pour diverses applications. C'est une plate-forme unique qui peut être configurée avec souplesse pour une variété de processus, y compris la gravure du plasma, le dépôt et le nettoyage. L'outil est constitué d'une chambre à vide en acier inoxydable qui est pompée à une pression de base de plusieurs millitorr. La chambre est isolée thermiquement et vibrationnellement par les composants de la virole pour assurer des conditions de base stables pendant le fonctionnement. L'équipement de table supérieur, situé dans la chambre, abrite les porte-électrodes et porte-plaquettes qui sont reliés aux alimentations. Le porte-plaquettes peut supporter jusqu'à deux plaquettes dans des porte-plaquettes doubles. L'électrode est suspendue au-dessus de la surface de la plaquette, assurant une charge plasma uniforme sur les plaquettes. Le réacteur AMAT P-5000 utilise un système de distribution de gaz, comprenant un panneau de gaz et un collecteur, pour configurer la chambre avec les gaz de traitement nécessaires. Une unité de recirculation permet à la chambre de maintenir de faibles niveaux de dégazage latéral pour prévenir la contamination du produit. Une machine de filtration HEPA unique peut être incorporée pour réduire les particules en suspension dans l'air. Le gestionnaire de recettes, situé à la base de l'outil, est responsable du contrôle des différentes recettes et des réglages des processus. Tous les réglages de température, de pression et de plasma peuvent être ajustés pour optimiser le débit et le rendement en conséquence. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 Le réacteur est un moteur de travail fiable pour de nombreuses stratégies avancées de traitement de circuits intégrés. Sa flexibilité et sa capacité pour les configurations personnalisées en font un outil efficace pour un large éventail d'applications. Sa conception unique permet aux ingénieurs de procédé de profiter des dernières techniques de traitement pour obtenir des rendements élevés à des débits compétitifs.
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