Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9037975 à vendre en France
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ID: 9037975
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
PECVD System, 8"
Process: SA-BPSG
TEOS with (3) CVD Chambers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est une plate-forme de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui offre une capacité supérieure d'automatisation et de contrôle des processus. AMAT P-5000 comprend des sous-systèmes de contrôle automatisé des procédés et de contrôle des chambres qui permettent un dépôt rapide, répétable et stable à haute température. Cette capacité a permis un meilleur contrôle des propriétés de surface, de l'épaisseur du film et de l'uniformité, ainsi que des rendements de processus supérieurs. Les matériaux appliqués P 5000 peuvent être utilisés pour des couches de métal, d'alliage métallique et d'oxyde métallique, ainsi que pour des applications de couche barrière telles que le dépôt de carbone, d'oxynitrure de silicium ou de nitrure de silicium. Le réacteur présente une plage de température élevée pouvant atteindre jusqu'à 1200 ° C Le système supporte à la fois le LPCVD (basse pression, dépôt chimique en phase vapeur) et le PECVD (CVD amplifié par plasma). Le réacteur dispose d'un contrôleur de processus automatisé, d'un pompage turbomoléculaire à deux étages, de contrôleurs de flux de gaz multiples et d'un contrôleur de débit massique. APPLIED MATERIALS P-5000 permet un contrôle précis du protocole de dépôt et permet des traitements de substrat avancés tels que la gravure, le recuit, le dépôt d'oxyde et le soulèvement métallique. Il comprend également diverses techniques de polissage avancées qui permettent une finition de surface supérieure et une topographie améliorée. Le système peut être facilement intégré à un environnement de production existant, fournissant une solution efficace qui est à la fois efficace en temps et en coût. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 est un système robuste et fiable, capable de produire des films et des substrats de qualité supérieure. Ses capacités d'automatisation et ses fonctions de contrôle des processus se sont avérées inestimables dans la fabrication d'optiques de haute précision, de microélectroniques et d'autres composants. La faible maintenance et la facilité d'utilisation en font un outil idéal pour une utilisation dans les laboratoires de recherche et développement ainsi que dans les environnements de fabrication.
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