Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056845 à vendre en France
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Vendu
ID: 9056845
Taille de la plaquette: 6"
CVD System, 6"
Software rev. E5.03
(4) Chambers:
(2) TEOS deposition chambers
(2) TEOS etch chambers
Currently crated.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de gravure haut de gamme et haute performance utilisé par les fabricants de semi-conducteurs avancés pour fabriquer des circuits intégrés. Il s'agit d'un réacteur de gravure haute pression et haute température conçu pour répondre aux problèmes liés à l'échelle des micro- et nano-structures des derniers circuits intégrés. AMAT P-5000 utilise un mandrin à double fréquence pour positionner individuellement et serrer la plaquette. Cela permet un traitement de gravure plus efficace et précis. De plus, le réacteur est équipé d'un spectromètre de masse temps de vol multi-tons (TOFMS) pour un contrôle précis des processus de gravure. Ceci permet de contrôler le dépôt de gravure au niveau du nanomètre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La P 5000 utilise également un générateur RF et une source d'énergie RF à haut rendement pour réduire significativement la perte de puissance pendant le processus de gravure. AMAT P5000 utilise un système automatisé de pointe pour la surveillance précise du processus de gravure. Cela inclut des caméras numériques haute définition pour la visualisation directe de la gravure pendant le traitement, ainsi que des systèmes de vision et de guidage haut de gamme pour le contrôle précis des mouvements de la chambre de gravure et du mandrin de plaquette. En outre, le réacteur utilise un système sophistiqué d'acquisition et de traitement de données pour l'analyse précise et précise du produit de gravure. P 5000 est équipé d'une gamme complète de technologies de capteurs, y compris l'infrarouge, l'ultraviolet et la spectroscopie visible, l'imagerie et le comptage des particules. Cela permet une caractérisation rapide et précise du produit de gravure. De plus, la chambre de gravure est également équipée de mesures de température ultra-rapides, ce qui assure un contrôle précis des températures de la chambre. En résumé, APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de gravure haut de gamme et haute performance qui est idéal pour une utilisation dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il comprend une automatisation avancée et des capacités de contrôle précises, permettant la production de circuits intégrés économiques et précis.
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