Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874 à vendre en France
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ID: 9092874
Taille de la plaquette: 6"
Deposition system, 6"
Process capability: 30pph
Chamber 1: Oxide: LH DryVAC 100S, RUVAC 250, ENI 12B-1250W
Chamber 2: Oxide: LH DryVAC 100S, RU VAC 250, ENI 12B-1250W
Chamber 3: Oxide: LH DryVAC 100S, RUVAC 250
Controller type: PC
S/W Rev.: ROSS 4.8
Process Gases: TEOS/O2?C3F8
External cooling: Water cooled.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur à haute température conçu pour le développement de procédés, le développement conjoint et la production de matériaux avancés. Ce système est capable de réaliser des processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de polissage chimique mécanique (CMP) de manière entièrement automatisée et très efficace. Ce réacteur utilise la dernière technologie en CVD et CMP pour fournir le plus haut niveau de contrôle et de rendement du procédé. AMAT P-5000 est conçu avec une chambre de réacteur verticale, logeant trois tranches correspondantes pour le chargement et le déchargement des substrats. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La conception verticale de P 5000 permet de supporter et de traiter une large gamme de matériaux de substrat au sein d'une même chambre à plasma. Le programme de processus de APPLIED MATERIALS P5000 est entièrement automatisé et conçu pour fonctionner avec des recettes sophistiquées, permettant un processus de dépôt et de polissage optimal et reproductible. Un système de distribution multi-gaz spécialement conçu permet de contrôler avec précision la livraison des gaz pendant le processus CVD, assurant ainsi un meilleur contrôle et une meilleure qualité du processus. Selon les besoins en matériaux, on peut appliquer des P-5000 avec jusqu'à trois gaz réactifs et un gaz de purge en même temps. P5000 est capable de réaliser des processus CMP à des températures allant jusqu'à 500 ° C, avec une température de substrat uniforme sur toute la surface du substrat. Un système de débit d'eau unique garantit un processus CMP fiable et efficace, tandis qu'une gestion indépendante du temps de séjour garantit un processus de traitement optimisé et uniforme. AMAT P 5000 est doté de capacités d'automatisation avancées, fonctionnant avec une interface de communication telle que le protocole de communication standard (SCPI). Il prend également en charge le diagnostic à distance et la surveillance en ligne du processus CVD et CMP, ce qui permet la surveillance et les ajustements des processus en temps réel. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 est conçu pour une productivité et un rendement élevés, et convient pour la production automatisée de matériaux avancés. Avec des fonctionnalités telles que le contrôle précis des processus, des capacités d'automatisation avancées et des processus CMP à haute température, AMAT P5000 fournit une solution robuste pour produire des matériaux avancés de haute qualité.
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