Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9103153 à vendre en France
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Vendu
ID: 9103153
Taille de la plaquette: 6"
CVD Nitride system, 6"
(4) Chambers
15 Slot storage elevator
Phase III robot
VAT ZA Style slit valves rectangular insert
Penulator flat screen monitor
Solid state hard drive
28 Slot gas panel
Mini controller with remote gas control
(28) Horriba STEC Z500 digital MFC’s
Modular AC rack
Load lock lid hoist
Chamber A,B,C,D:
Silane nitride giant gap chamber
Thick plate gas box with teflon insulator
Direct drive cluster throttle valve
Nupro gas valve, filter, manifold
MKS 627B Dual 10-100 torr baratron heated
Includes:
Lift hoop
Fingers
Susceptor
Not included:
RF Matches
Generator
Heat exchanger
Currently de-installed.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de recherche et développement de pointe qui est utilisé pour la production de silicium ultra-mince et d'autres matériaux pour les technologies de puces électroniques. Il est capable de réaliser des couches de dispositif inférieures à 10nm et convient à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, tels que des produits graphiques et photovoltaïques. AMAT P-5000 utilise une seule chambre de traitement de plaquettes, composée d'un revêtement diélectrique court, et d'un certain nombre de composants puissants, y compris un élément chauffant, un équipement d'évacuation du gaz et un injecteur. L'élément chauffant est un échangeur de chaleur en céramique résistif, capable de se réchauffer rapidement et de maintenir des températures stables. Le système d'évacuation des gaz est conçu pour évacuer les gaz indésirables, tandis que l'injecteur est utilisé pour injecter des gaz de procédé dans la chambre. La chambre est supportée par une unité d'alimentation, qui fournit une alimentation électrique continue aux différents composants, tandis qu'une machine d'épuration de gaz est utilisée pour nettoyer les gaz de procédé. LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est conçu pour graver sélectivement le silicium, les métaux et d'autres matériaux par l'application de pulvérisation radiofréquence, ou d'autres procédés à base d'énergie ou de charge. Le réacteur est capable d'obtenir une plus grande précision et des motifs plus fins que les procédés traditionnels à base de motifs lithographiques, tels que ceux utilisés dans la fabrication de puces. Le réacteur fonctionne typiquement à des pressions plasmatiques comprises entre 0,5 et 5mTorr, et est capable de produire des couches diélectriques, des métaux et d'autres matériaux. AMAT P5000 prend en charge une gamme de paramètres et d'options de processus, tels que la plage de température, le temps de dépôt et la durée totale du cycle de processus. Cela permet la production de microstructures 3D complexes et d'autres conceptions complexes de puces. Le réacteur est capable de produire une surface uniforme pour l'application des procédés de circuits électriques et de fond, et est utilisé dans l'industrie de la microélectronique pour la fabrication de circuits intégrés ultra-minces. P5000 s'est avéré être un dispositif fiable et efficace, permettant aux utilisateurs de réaliser des dispositifs précis et performants dans une fraction du temps requis par les processus traditionnels basés sur la lithographie. Grâce à ses capacités de contrôle perfectionnées et à ses performances supérieures, P-5000 est devenu un outil précieux pour les chercheurs de l'industrie de la microélectronique.
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