Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9112922 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de traitement monobloc utilisé pour la recherche, le développement et la production en petits lots dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un système d'ultra-haute vide (UHV) adapté aux procédés de filtrage et de dépôt utilisés pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs et des matériaux composés. AMAT P-5000 est commandé par l'intermédiaire d'une unité de commande électronique (ECU) et relié à un ordinateur personnel (PC) par l'intermédiaire d'un bus IEEE-488. LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 comprend une chambre de procédé, une électrode supérieure et inférieure, un mandrin électrostatique (ESC) et un ensemble d'aiguilles du sous-système de distribution de gaz (GDS) à encastrement triboélectrique. La chambre de procédé est une chambre à vide pouvant atteindre des pressions de 1E-7 torr ou inférieures. Un ensemble de quatre disques concentriques d'anneaux intérieurs permet une répartition uniforme de la chaleur à l'intérieur du réacteur. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 permet divers processus de dépôt, tels que l'ALD, le PECVD et la pulvérisation par pulvérisation, en utilisant les paramètres de flux d'électrons et de gaz pour ajuster les doses de réactifs. Les électrodes supérieure et inférieure peuvent atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C et sont chargées à l'aide d'un ESC. L'ESC est en matériau Triboelectric et est conçu pour charger la plaquette avec un potentiel électrique uniforme. La charge est réglable en fonction des besoins du processus. La plaquette est fixe et centrée à l'aide d'un mécanisme de contact à quatre points. Les aiguilles GDS sont chargées d'acheminer des quantités contrôlées de gaz dans la chambre de procédé. Par exemple, si AMAT P5000 est utilisé pour une réaction de déposition, typiquement trois gaz seront livrés dans les doses exigées dans le réacteur, un précurseur, une espèce d'oxygène et un gaz de transporteur. Les aiguilles GDS peuvent être programmées pour modifier les doses de réactif en cours de traitement, ce qui permet des procédés complexes nécessitant un affinage des réactifs. En conclusion, APPLIED MATERIALS P-5000 est un réacteur de traitement monobloc utilisé pour la recherche, le développement et la production en petits lots dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un système de vide ultra-élevé adapté aux processus de filtrage et de dépôt et capable de délivrer des quantités contrôlées de gaz avec des doses réglables de réactif. Il est contrôlé par une ECU avec des paramètres réglables pour les processus de dépôt, et a une électrode supérieure et inférieure qui peut atteindre des températures de fonctionnement jusqu'à 1000 ° C