Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9133091 à vendre en France
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ID: 9133091
Metal etch, 8"
System Features:
1. Top-Mounted electronics: NO
2. Meets CE Mark Requirements: NO
3. System monitors: YES
4. Robot Handler Rev: Phase III(Overhaul Complete)
5. Cassette Handler Rev: Phase III
6. Factor Automation: NO
7. Storage Elevator Position Sensor: NO
8. Storage Elevator Wafer Orienter: NO
9. Elevator Brakes: YES
10. Storage Elevator Slots: 8
11. Load Lock Purge: NO
12. Load Lock Chamber Bolt Down Lid: YES
13. Load Lock Lid Lift: NO
14. Wafer Position Sensor: YES
15. I/O Wafer Sensor: YES
16. Slow Pump Hardware Installed: NO
17. Foreline Fittings for TC and N2 Purge: VCR Type
18. Load Lock Pump Type: NO Pump
19. Load Lock Pump Brand: N/A
Mainframe
1. Load Lock Degasser: N/A
2. Wafer Orienter Chamber: N/A
3. Endpoint System: Extrenal Emmision
4. Neslab Water Plumbing on Facilities Panel: YES
5. Heat Exchanger Plumbing on Facilities Panel: YES
6. Endpoint System: NONE
7. Robot Type: Phase III
8. Robot Condition: Good condition
9. Lower Circuit Breaker Panel: Present
10. Buuffer Chamber Condition: Good condition
Electronics:
1. Boss PROM: Unable to check. System not powered up.
2. Single Board Computer Type: Synergy
3. Software Revision: Unable to verify, System not powered up.
4. Minicontroller: Present
5. Light Pens: NONE
6. Chamber Interconnect PCB: Present
7. Mini SBC PCB: Present
8. System Electronics Interface PCB: Present
9. Video PCB: Present
10. Analog Output PCB: Present
11. Analog Input PCB: Present
12. Stepper PCB's: Present
13. Digiral I/O PCB's: Present
14. TC Gauge PCB: Present
15. Chopper Drivers: One card none
16. DC Power Cards: +12v card none
17. Buffer I/O PCB: Present
18. AI / MUX PCB: Present
19. Magnet Drivers: 2 Drivers present for Etch Chambers
Chamber Information:
1. Chamber A: Metal Etch MxP+
2. Chamber B: Metal Etch MxP+
3. Chamber C: ASP(strip)
4. Wafer Size: 200mm
5. Foreline Hardware: All Present
6. Capacitance manometers: Present
7. Wafer Lift Hardware: Present, needs servicing and clean-up.
8. Roughing Valves: Present, will need PM serviced and cleaned.
9. Throttle Valve Assemblies: All chambers present. Will need PM Seriviced.
10. RF Matches: Type 4 Matches. Etch Chambers present.
Gas Box Information:
1. MFC Type: No MFC's in Gas Box at time of audit.
2. BCL3 MFC's:
3. CL2 MFC's:
4. CF4 MFC's:
5. N2 MFC's:
Remote Information:
1. Heat Exchanger: AMAT 1X 1
2. Chiller: HX-150
3. RF Generators:OEM-12A & AX-2115
4. Remote Frame: Stand Alone-Delta
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur à gravure sèche de 180 mm conçu pour les procédés de gravure haute performance. L'équipement est capable de fournir des profondeurs de gravure très précises, une grande uniformité, et une excellente sélectivité de gravure pour une variété de matériaux. AMAT P-5000 est équipé de matériel et de logiciels avancés pour garantir des résultats supérieurs pour les structures planaires et 3D. Le matériel comprend un générateur RF et une unité de correspondance RF pour maximiser l'uniformité et l'efficacité de gravure. Le système comprend également une unité de distribution de gaz réactif, une commande de mouvement déterministe et une machine de distribution RF en boucle fermée. En outre, APPLIED MATERIALS P 5000 dispose d'un logiciel de contrôle avancé comme EtchVision, une interface utilisateur graphique de contrôle (GUI) qui fournit un contrôle facile et la personnalisation des recettes de gravure. En outre, P-5000 a une chambre de gravure à base diélectrique construite pour minimiser les réflexions RF dans la chambre à plasma, réduisant la possibilité d'artefacts RF dans les zones sensibles. APPLIED MATERIALS P5000 est conçu pour graver les matériaux les plus difficiles tels que le molybdène, le tungstène et le ruthénium. Il est également capable de graver dans plusieurs couches de diélectrique sans surgravure. AMAT P5000 offre également d'excellentes caractéristiques de gravure d'oxyde avec un minimum de chauffage, de refroidissement et d'impacts ioniques incontrôlés. L'outil peut être utilisé pour les gravures profondes et fonctionne bien pour le nettoyage des substrats et le nettoyage des surfaces. AMAT P 5000 est un outil puissant pour la gravure qui peut fournir des résultats uniformes, précis et performants pour une variété de matériaux. Sa combinaison de matériel avancé et de logiciels permet aux utilisateurs d'atteindre leurs objectifs de processus désirés avec un minimum d'efforts. L'actif est bien adapté aux applications dans les secteurs de la microélectronique, des semi-conducteurs et de l'optoélectronique pour la gravure de structures sensibles et difficiles.
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