Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171285 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de gravure ultramoderne conçu pour des applications de procédés semi-conducteurs. C'est un équipement de gravure multi-chambres, multi-modules qui est à la fois polyvalent et hautement personnalisable pour répondre aux besoins individuels de chaque client. Le système est conçu pour fournir aux utilisateurs un contrôle maximal sur le processus de gravure, leur permettant d'obtenir un contrôle de production serré et des temps de cycle rapides. AMAT P-5000 comprend d'un port load-lock/vent et d'une ou deux chambres de traitement. Le port de serrure/évent a différentes fonctions qui permettent aux utilisateurs d'introduire et d'enlever des substrats, d'évacuer l'unité et de contrôler la pression de la chambre de procédé. Les gaz de procédé sont délivrés par une machine collectrice avancée incorporée dans le loadlock. Le collecteur est réalisé en acier inoxydable haute pression et comprend plusieurs soupapes d'admission et des raccords de conduites de gaz. La chambre de traitement de l'outil a une conception de corps cylindrique avec des assemblages électromagnétiques à bobines renforcées qui sont disposés autour des parois de la chambre. Ces e-bobines génèrent une combinaison puissante de champs magnétiques et électrostatiques qui assurent un plasma de processus uniforme et homogène. Les bobines E assurent également un auto-nettoyage des parois de la chambre, ce qui améliore la reproductibilité des procédés et réduit les cycles de nettoyage de la chambre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif P 5000 utilise une large gamme de mélanges gazeux et gazeux pour les gaz de chambre de traitement. La puissance est fournie par un générateur RF, qui permet aux utilisateurs de contrôler le flux du faisceau d'électrons pour produire un plasma homogène et homogène. Il permet également aux utilisateurs d'ajuster la fréquence et la puissance dans la précision. Le modèle comprend un logiciel sophistiqué qui offre des recettes et des paramètres spécifiques à l'utilisateur. Il permet un suivi continu des coûts de production exacts, offre l'enregistrement des données et l'analyse des paramètres de processus pertinents et fonctionne en temps réel. Le logiciel contient également des fonctionnalités de sécurité telles que des systèmes de sécurité en chambre et des limites de pression. Cela garantit que le fonctionnement du processus reste sûr, efficace et productif. Dans l'ensemble, AMAT P5000 est un équipement de gravure avancé qui est très polyvalent et personnalisable. Il offre un contrôle inégalé sur le processus de gravure, permettant aux utilisateurs d'améliorer les temps de production et de maximiser le rendement.
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