Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196361 à vendre en France
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ID: 9196361
Taille de la plaquette: 8"
PECVD System, 8"
Wafer sense
Robot
Storage elevator
Ergo cassette loaders
Electrical / Pump rack
UNIT INSTRUMENTS, 1660
RF Matching network
RIF Rack
(2) EDOCS With rack
Mini controller
Monitor rack
Heat exchanger
Tool cables
Lamp modules
Nitride PARC
(4) Chambers
Missing parts:
Process kits
OEM Mouse
Process:
USG
SiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de traitement de semi-conducteurs de haute performance qui peut effectuer diverses tâches. Il est principalement utilisé dans les procédés de production tels que la lithographie, la gravure, l'épitaxie et l'implantation. AMAT P-5000 dispose d'une grande chambre de 225 mm capable de loger une variété de formes de substrat. Il dispose d'une plaque adaptatrice in situ pour une installation facile ainsi que d'un capot d'échappement monté horizontalement pour une meilleure gestion thermique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le P 5000 est équipé de deux fentes sources indépendantes qui peuvent être configurées pour fournir à la fois Étape et répétition (S&R) et Balayage continu (CS) des gaz de processus. Cela permet d'augmenter le débit tout en fournissant des résultats cohérents. En outre, AMAT P 5000 comprend un équipement de gestion de gaz Endura propriétaire, qui permet à l'utilisateur de contrôler avec précision le flux de gaz vers la chambre de traitement. Le système de gestion du gaz Endura dispose également d'un processus de purge automatisé qui aide à réduire les temps d'arrêt et les déchets. P5000 est également équipé d'une gamme complète de capacités de régulation de température. Il dispose d'une unité de régulation de température de haute précision qui maintient la température dans la chambre à +/ − 0,5 ° C AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 comprend également une machine ZAC (Zone Action Control) qui permet de vérifier l'uniformité sur l'ensemble du substrat. En outre, AMAT P5000 peut être jumelé avec la norme Endura ou l'outil avancé de gestion du gaz, permettant aux utilisateurs de profiter d'un nombre illimité de recettes et de mélange automatisé de gaz. En raison de sa haute performance et précision, APPLIED MATERIALS P5000 est idéal pour les processus de production où le rendement, la répétabilité et le temps de cycle de pointe de l'industrie sont recherchés. Il est également capable de traiter une large gamme d'exigences de tension et de puissance et peut accueillir des plaquettes jusqu'à 11 "de diamètre. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 a été conçu pour une configuration rapide, permettant aux utilisateurs de se lever et de fonctionner rapidement. Avec ses performances supérieures et sa conception robuste, P-5000 est la solution idéale pour tout environnement de production de semi-conducteurs.
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