Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226363 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de puissance monocouche de grande surface conçu pour des applications de gravure résistives et capacitives à haute productivité. C'est le premier graveur de puissance avec une capacité de 5 pouces wafer. L'outil comprend une source de plasma bidirectionnelle à plusieurs niveaux, quatre électrodes avec une cinquième électrode en option et une fenêtre à double ion réglable. La chambre de gravure de grande surface permet jusqu'à cinq plaquettes en un seul lot, offrant un débit plus élevé avec moins de cycles de processus. AMAT P-5000 dispose de ports d'injection de gaz multiples, permettant d'injecter plus de gaz dans la chambre de gravure, ce qui améliore la cohérence et le contrôle du processus de gravure. L'outil comprend également un ensemble de refroidissement latéral assurant un refroidissement uniforme de toutes les plaquettes de la chambre de gravure. Cela permet de s'assurer que chaque plaquette reçoit une gravure et un refroidissement uniformes. L'outil offre également un système intégré de surveillance des processus avec un nivellement automatique des gaz, un contrôle de la température et un système de surveillance des processus RF en temps réel. L'alimentation intégrée contrôle les niveaux de puissance dans la chambre de gravure, et le contrôle du débit de gaz surveille le débit de gaz à travers la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 dispose également d'un système de suivi automatique des processus pour garantir des résultats de gravure précis et reproductibles. P 5000 a un contrôle de processus avancé qui permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres de processus pour obtenir les résultats souhaités. Cela inclut la capacité de régler les niveaux de courant de gravure, la puissance de crête et la durée, et d'ajuster la largeur de l'impulsion RF, entre autres paramètres. Cette caractéristique rend l'outil particulièrement adapté aux procédés de fabrication avancés. P-5000 offre également une foule de fonctions de sécurité, y compris un coffre de protection élargi, la détection de collision métallique, et des fuites de rayonnement limitées. L'outil détecte également automatiquement les ruptures de plaquettes et autres alarmes de sécurité. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 est un grand réacteur de puissance monobloc conçu pour des applications de gravure résistives et capacitives à haute productivité. Il dispose d'une source de plasma bidirectionnelle à plusieurs niveaux, de quatre électrodes avec une cinquième électrode en option et d'une fenêtre à double ion réglable. L'outil comprend également une surveillance intégrée des procédés, un contrôle avancé des procédés et une multitude de caractéristiques de sécurité, ce qui en fait un choix idéal pour les procédés de fabrication avancés.