Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9232761 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un dispositif de microélectronique à implant électronique conçu pour former des bosses de contact fiables et interconnecter des structures dans des circuits intégrés. Le réacteur y parvient en fournissant une capacité de traitement à haute température, sous vide et sans hydrogène dans une seule plate-forme. Le réacteur AMAT P-5000 est équipé d'un bocal Bell chauffable, d'un dispositif de chauffage par substrat et de plusieurs électrodes. Le bocal chauffable est un tube en verre, fonctionnant sous vide, qui contient plusieurs points chauds. Le chauffe-substrat est utilisé pour contrôler uniformément et précisément la température du substrat. Des électrodes multiples, reliées à des alimentations, sont utilisées pour créer un arc électrique, fournissant un procédé rapide et fiable de recuit ou d'implantation de bosses de contact et de structures d'interconnexion. Les composants du réacteur P 5000 à MATÉRIAUX APPLIQUÉS sont tous capables d'atteindre des températures allant jusqu'à 1500 ° C, avec un niveau de vide inférieur à 6.4e-4 torr. Ce système comprend également un système automatisé de livraison de gaz, permettant une flexibilité dans les recettes de processus. Cela permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la température, la pression et le débit des matières dangereuses utilisées dans le traitement. Le réacteur APPLIED MATERIALS P5000 est conçu pour fonctionner dans des conditions extrêmes, offrant répétabilité et fiabilité. Le système de commande de puissance dispose de modulation numérique de largeur d'impulsion, permettant un contrôle de précision de l'arc électrique. Les réacteurs comportent plusieurs chambres permettant de réaliser plusieurs processus en parallèle. Cela permet à plusieurs utilisateurs d'appliquer une grande variété de tailles de plaquettes et de matrices. En outre, l'option Chuck Electrostatic (ESC) permet un contrôle précis des paramètres électromécaniques du substrat et de la plaquette, permettant un flux régulier de courant électrique vers les emplacements du processus et contribuant à réduire la variabilité due aux incohérences de la filière. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 offre des fonctionnalités avancées telles qu'un générateur de radiofréquences (RF) et une caméra infrarouge (IR). Le générateur RF veille à ce que tout appareil comportant des composants RF fonctionne dans des conditions de sécurité afin de prévenir la défaillance de l'appareil. La caméra IR aide l'utilisateur à identifier rapidement les zones à température plus élevée, permettant des processus plus rapides et plus précis. La petite taille de réacteur P5000 tient compte d'un processus puissant et fiable pour survenir en quantité minimale d'espace, ayant pour résultat l'épargne de prix. Les composants modulaires et les fonctionnalités intégrées offrent une évolutivité et une flexibilité, ce qui fait du réacteur P-5000 un choix idéal pour un large éventail d'applications de microélectronique d'implants électroniques.
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