Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9243884 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de gravure avancé conçu pour offrir des performances de gravure ultra-rapides pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. AMAT P-5000 fonctionne à des températures comprises entre -25 ° C et 500 ° C, et dispose d'une source de plasma avancée et à haut rendement pour améliorer les taux de gravure et l'uniformité des gravures. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 utilise une conception à double chambre, constituée d'une chambre supérieure et d'une chambre inférieure qui peuvent être facilement reconfigurées pour différents procédés de gravure. La chambre supérieure contient la source de plasma, tandis que la chambre inférieure contient le gaz de gravure et les composants sous vide. La conception modulaire permet d'adapter facilement l'équipement AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 aux exigences spécifiques du processus. La source de plasma avancée d'AMAT P5000 utilise un générateur RF de grande puissance et un magnétron robuste pour générer un plasma de gravure intense dans la chambre de traitement. Le plasma est produit à haute densité (jusqu'à 3 Watts/cm2) et est utilisé pour graver les matériaux avec précision sans compromettre l'intégrité des circuits environnants. Le P 5000 est également doté d'un ioniseur double breveté pour améliorer les rendements des procédés. Le système à ioniseur double utilise deux générateurs RF haute fréquence distincts pour créer une distribution d'énergie ionique puissante et uniforme dans toute la chambre de traitement, permettant une meilleure uniformité de gravure. APPLIED MATERIALS P-5000 est conçu pour exécuter plusieurs tailles de plaquettes et matériaux de substrat, y compris des dispositifs à faible budget thermique. Pour une sécurité et une commodité supérieures, l'unité dispose d'une machine de maintien de la température intégrée, d'une régulation automatique de la puissance RF et de pompes sèches fiables à haut rendement. Pour une flexibilité maximale, APPLIED MATERIALS P5000 est disponible avec une large gamme d'accessoires, tels que les réseaux d'appariement RF, les pompes d'échappement, les kits de câbles et les boîtiers de contrôle. L'outil est également compatible avec plusieurs systèmes de surveillance et de contrôle, y compris AMAT Pro E-200 Controller. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 est un réacteur de gravure avancé qui aide les fabricants de semi-conducteurs à graver les matériaux avec précision dans des vitesses de traitement ultra-élevées. L'actif utilise un design double chambre et un magnétron à haut rendement pour générer un plasma puissant et uniforme à l'intérieur de la chambre. P5000 est compatible avec plusieurs tailles de plaquettes et de substrats, et offre aux utilisateurs une flexibilité maximale avec une large gamme d'accessoires et de systèmes de contrôle.
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