Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9245114 à vendre en France
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ID: 9245114
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
PECVD System, 8"
With (2) process chambers
1994 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur horizontal monobloc qui est généralement utilisé pour traiter des matériaux tels que le silicium et l'arséniure de gallium utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil de haute précision qui est conçu pour fournir la précision et la répétabilité nécessaires lors du travail avec le matériau sensible utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs. AMAT P-5000 dispose d'une gamme de fonctionnalités et de capacités qui peuvent être utilisées pour personnaliser la chambre de réaction afin de répondre aux besoins spécifiques de l'utilisateur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est alimenté par AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Contrôles Endura Electronics et a une taille de chambre active de 8 x 8 pouces (20,6 x 20,6 cm) et peut fonctionner avec des pressions allant de 29hPa à 700hPa (0,1 à 5 torr). En outre, le P 5000 peut être couplé avec une gamme de différents gaz réactifs et supporte une variété de méthodes de contrôle de la température, y compris le chauffage de résistance et les refroidisseurs thermiques. La vitesse maximale de rampe sur MATÉRIAUX APPLIQUÉS P-5000 est supérieure à 600 ºC par minute et sa précision de consigne est supérieure à 0,1 ºC Les parois internes de la chambre sont dotées de la technologie d'isolation par contrainte dynamique indicative (DIST) qui est conçue pour maintenir un profil de température uniforme, assurant que les échantillons ne sont pas exposés à des gradients thermiques importants. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 dispose d'une gamme complète de fonctions de surveillance et de contrôle, y compris la surveillance des procédés, la chambre à vide, le contrôle de la pression et du débit, le contrôle de la température et l'enregistrement des données. APPLIED MATERIALS P5000 est conçu pour s'intégrer de manière transparente avec d'autres systèmes de traitement AMAT, y compris leurs systèmes d'outils Endura et Centura, ainsi que le logiciel d'automatisation waferware. Cela permet une variété de niveaux d'automatisation et fournit à l'utilisateur un moyen efficace et rentable d'atteindre les résultats souhaités. Dans l'ensemble, AMAT P 5000 est un réacteur de haute précision conçu pour offrir la précision et la répétabilité requises pour les dispositifs semi-conducteurs sensibles.
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