Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255619 à vendre en France

ID: 9255619
System (3) SACVD Systems with PLIS TEOS.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un outil de gravure par ions réactifs profonds (DRIE) in-situ très avancé utilisé pour la production de très petits trous et microstructures de forme complexe dans une variété de matériaux. Le procédé DRIE dans AMAT P-5000 est très efficace, avec des taux de gravure supérieurs à 100 μ m/min réalisables dans la plupart des matériaux et procédés. En outre, il est également capable de graver une variété de matériaux non conducteurs avec un minimum de casse-vide, permettant une large gamme d'options de fabrication et d'applications. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 dispose d'une source annulaire de décharge remplie de tranchées, ce qui est une amélioration par rapport aux sources magnétron classiques. Il en résulte une plus grande homogénéité et un plasma plus homogène souhaité pour le procédé de gravure. En outre, APPLIED MATERIALS P-5000 est un équipement multi-chambres avec une chambre de traitement du quartz et une chambre de support occupant des chambres séparées. Cette séparation des fonctions de la chambre permet un procédé de fabrication plus efficace car elle permet des procédés plus complexes et une gravure plus précise sans occuper ni l'espace de traitement ni l'espace de la chambre de support. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 utilise la technologie du suscepteur à plusieurs niveaux, qui assure un contrôle précis en temps réel de la gravure et de l'environnement du substrat, tout en éliminant les dommages causés au substrat par le traitement thermique. En outre, le système de fixation de substrat entièrement métallique permet un positionnement précis et efficace du substrat, conduisant à des rendements plus élevés et à une meilleure résolution de gravure. De plus, l'unité de refroidissement/chauffage en boucle fermée en P-5000 assure la cohérence de température tout au long du processus de gravure. P5000 est capable de graver une variété de matériaux, allant des métaux aux diélectriques, y compris les III-V, et est entièrement automatisé ; faire de P 5000 un outil incontournable dans l'environnement de fabrication automatisée. En outre, le schéma de contrôle avancé d'AMAT P5000 fournit un contrôle précis de la vitesse de gravure, ce qui facilite la modification des taux de gravure sans avoir à repositionner le susceptor pour modifier la configuration de la gravure. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur de gravure par ions réactifs profonds tout-en-un. Sa source de décharge annulaire avancée, sa technologie de pulvérisation multi-niveaux et sa conception multi-chambres font d'AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 une machine de gravure idéale pour une large gamme de matériaux tels que les métaux, les diélectriques et les III-V. Son contrôle précis de la vitesse de gravure, son positionnement efficace du substrat et sa cohérence en température, ainsi que ses opérations automatisées, font de l'AMAT P 5000 un outil incontournable dans tout environnement de fabrication automatisé.
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