Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262476 à vendre en France
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Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un équipement multi-chambres conçu pour produire une large gamme de gravures et de dépôts complexes. Il est basé sur le concept de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) et a été conçu pour fournir un excellent contrôle et précision pendant les processus de gravure et de dépôt du plasma. AMAT P-5000 comporte en particulier deux unités de chambre, deux sources de dépôt classiques et une chambre de gravure polarisée par RF. Les deux chambres permettent un traitement polyvalent, tandis que chaque chambre peut être configurée individuellement pour répondre à un large éventail de besoins de production. Dans chaque chambre, une source PECVD est entourée de deux sources de dépôt classiques. La source PECVD renforcée par plasma est utilisée comme cœur du réacteur et est conçue pour offrir une excellente flexibilité de procédé et de contrôle. Il peut être utilisé pour des procédés sélectifs, pour des films ou pour des modelages précis. Les deux sources de dépôt classiques offrent des procédés de dépôt classiques, tels que les réactions thermiques et l'évaporation. En outre, le système est équipé d'une chambre de gravure avancée, une unité exclusive polarisée RF qui est conçue pour offrir des performances de gravure améliorées. LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 allie un contrôle avancé des procédés à une disposition mécanique robuste, offrant une excellente précision et répétabilité ainsi que des débits élevés. En utilisant les derniers procédés de gravure et de dépôt du plasma, l'unité peut être utilisée pour produire une variété de composants et de substrats avec une uniformité et une assurance qualité supérieures. La plate-forme est également compatible avec une large gamme de matériaux, y compris Si, GaN, AlN, Mo, Ta et plusieurs autres matériaux. Le réacteur AMAT P 5000 est un excellent choix pour les clients qui cherchent à produire des composants de gravure et de dépôt de qualité supérieure dans une machine robuste et très flexible. Avec son contrôle avancé et son agencement mécanique fiable, l'outil est capable de produire d'excellents résultats de gravure et de dépôt avec des délais d'exécution rapides et une rentabilité.
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