Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9280086 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9280086
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Chamber A and B: MxP Metal
Chamber D: Strip
Mark II Mainframe
29 Slots storage elevator
Helium cooling
Expanded VME
Robot: Phase III
Cassette: Phase II
AC Remote frame
Cables: Digital and analog
Emergency interlock cables
Heat exchanger: AMAT 0
RF Generators: ENI 12A and 12B
ASTEX Microwave
Options: (2) ALCATEL Dry pumps and booster pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur semi-conducteur à base de plasma très fiable et efficace. Il est construit en utilisant plusieurs fonctionnalités avancées pour assurer des performances efficaces et maximiser la productivité. AMAT P-5000 est un réacteur à plasma à flux radial à chambre unique, conçu pour une extensibilité maximale et une flexibilité multi-zones. La configuration initiale de gaz source pour les matériaux appliqués P 5000 comprend Ar-Cl2, avec la possibilité de créer jusqu'à cinq gaz source différents à partir de cette combinaison unique. Cette source variable est utile pour des applications telles que le dépôt de silicium polycristallin, la formation d'oxyde de grille et la silicisation de grille poly-Si. Les paramètres de processus réglables en cinq zones permettent un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt. Pendant ce temps, les parois diélectriques et les électrodes encapsulées longLife contribuent à réduire la contamination des particules et à maintenir l'uniformité des processus. AMAT P 5000 comprend un générateur de source de plasma capable de générer du plasma très uniforme sur une large gamme de fréquences. Les capacités de puissance et de contrôle robustes du réacteur garantissent des rendements de processus fiables. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 dispose de capacités de charge/déchargement automatique, pouvant accueillir jusqu'à 16 plaquettes de 200mm ou 13 plaquettes de 300mm. L'uniformité de température est garantie par le module de refroidissement intégré du générateur. En plus de ses fonctionnalités avancées, AMAT P5000 comprend également plusieurs fonctions de sécurité. Le moniteur FM O2 ferme automatiquement l'alimentation en gaz lorsque les niveaux d'oxygène dépassent les limites prédéterminées pour éviter les dangers potentiels. De plus, le sas empêche le contact entre l'opérateur et l'environnement de fonctionnement en fermant automatiquement les portes de la chambre lorsqu'il détecte un accès non autorisé. Dans l'ensemble, P-5000 Plasma Reactor est un excellent choix pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre des performances, une évolutivité et une sécurité supérieures pour les procédés de gravure et de dépôt haut de gamme. Avec son design puissant et efficace, APPLIED MATERIALS P5000 est un choix idéal pour toute installation à la recherche de résultats fiables et rentables.
Il n'y a pas encore de critiques