Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291585 à vendre en France
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ID: 9291585
System
Chamber position: A, B, D
Downstream Plasma Apparatus (DPA)
Slit valve type: S Slit
Slit valve o-ring: Kalrez
Lamp module: Standard
Heater window: Quartz
Throttle valve: Cluster
No lamp module water flow switch
No Endpoint detector
No RGA port
Manometer:
VCR: 10T (Silane)
VCO
Process kit:
Wafer lift: Metal (Standard)
Pumping plate: 0020-30059
GDP / Blocker: 0020-30286 / 0020-34775
Gas delivery options:
Silane chamber, 8"
Pallet / Process / Flow / Cal / MFC
Position / Gas / Size / Gas / Type
1 / SiH4 / 500 cc / SiH4 / Unit 1660
2 / NH3 / 300 cc / NH3 / Unit 1660
3 / N2O / 3 slm / N2O / Unit 1660
4 / NF3 / 5 slm / CF4 / Unit 1660
5 / N2 / 10 slm / N2 / Unit 1660
RF frequency: Single.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Le réacteur est un équipement de fabrication de pointe conçu spécifiquement pour la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil puissant et polyvalent qui peut être utilisé pour produire de nombreux types différents de dispositifs semi-conducteurs tels que des circuits intégrés à signaux mixtes (IC). AMAT P-5000 se compose de plusieurs modules, dont une chambre de réacteur, un système de distribution de gaz et un contrôleur informatisé. Le principal composant des MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est la chambre du réacteur, une unité en acier inoxydable qui abrite le processus de réaction. Cette chambre peut être configurée à une grande variété de températures, de pressions et de flux de gaz, ce qui permet de réaliser une variété de procédés. La chambre est également équipée d'une fenêtre en quartz qui permet le suivi en temps réel et l'analyse des performances du procédé. APPLIED MATERIALS P5000 comprend également une unité de distribution de gaz et un contrôleur informatisé. Cette machine assure que le bon mélange gazeux est livré à la chambre, quelles que soient les conditions de traitement. L'outil permet également d'affiner les paramètres tels que la pression, la température et les dimensions de la chambre de réaction. Ceci permet d'obtenir le résultat final souhaité. Enfin, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité, dont un atout alarme pour les températures basses et élevées, un modèle de surveillance de la pression et des soupapes de protection contre la surpression. Le réacteur est également équipé de capteurs pour surveiller la composition chimique des gaz, contribuant ainsi à garantir la sécurité et l'efficacité du procédé. En conclusion, P5000 Reactor est un outil puissant et polyvalent pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa vaste gamme de fonctionnalités peut être configurée pour répondre aux exigences exactes d'une variété de processus, assurant que le résultat final souhaité est obtenu. Ses nombreuses caractéristiques de sécurité garantissent également la sécurité et l'efficacité de tout processus.
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