Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291960 à vendre en France
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ID: 9291960
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
(3) WSix Chambers
Short elevator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur à plasma cylindrique conçu pour les applications de traitement des semi-conducteurs. Il est capable de traiter des plaquettes pleines jusqu'à 300mm de diamètre et est équipé d'un générateur haute puissance à impulsion rapide. L'équipement utilise une seule chambre de processus avec une fenêtre RF pour la génération de plasma et la suppression des interférences. Le système fournit un processus uniforme et répétable, ce qui signifie que les temps de production peuvent être minimisés et la qualité du produit maintenue. AMAT P-5000 comprend un générateur d'impulsions de fréquence de haute puissance, avec une conception de réseau plasma propriétaire. Cette conception brevetée utilise des éléments de commutation de faible puissance et des cathodes avec une durée de vie accrue et une sortie plasma uniforme. Le générateur d'impulsions de fréquence permet aux utilisateurs de générer des décharges étroitement contrôlées sur une gamme de températures et de pressions. Cette technologie garantit un processus plasma stable et fiable, tout en réduisant les coûts de maintenance et d'exploitation. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 dispose également d'une unité de protection-gaz, abritant des sources internes de gaz et des réseaux de distribution. La machine permet aux utilisateurs de sélectionner les gaz de procédé désirés, tels que l'argon, l'azote et l'hydrogène, et de les délivrer aux proportions et débits spécifiés par l'utilisateur dans la chambre à plasma. Cela permet un contrôle serré des processus de gravure et de dépôt. AMAT P 5000 est construit pour la précision et l'uniformité, et est équipé d'un outil de contrôle de pression variable. Cela permet de régler la chambre à la pression désirée et d'assurer cette uniformité sur l'ensemble de la plaquette. De plus, l'actif comprend un modèle intégré de suivi des processus et de diagnostic. Cet équipement enregistre les informations de chaque étape du processus et permet aux utilisateurs de visualiser, mesurer et ajuster les recettes du processus. P-5000 est un outil puissant et fiable pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa production complète de plasma de haute puissance et à ses capacités d'uniformité contrôlées, il permet aux utilisateurs d'obtenir les rendements les plus élevés. Ses caractéristiques de pointe garantissent la répétabilité, l'efficacité et la fiabilité des processus.
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