Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9292243 à vendre en France
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ID: 9292243
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
PECVD SiO2 / SiN /dry etcher, 6"
Mark II frame
Chambers and gas configuration: Dry etch, TEOX, SIN
(3) Chambers for Dry Etch, TEOX, SIN
(1) PTEOS Chamber
(1) Oxide etch Chamber
(1) SiN Chamber
A: 50 sccm N2, 1 slm N2, 1 slm O2, 3 sccm N2, SiH4
B: 200 sccm Ar, 3 slm N2, 3 000sccm N2, 1 slm N2, 100sccm NH3, 500 sccm N2, (SiH4)
C: 1100 sccm N2, 1 sccm N2, 3 slm N2 TEOS Bubbler
Chuck type: Mechanical clamp
Elevator size: Short
Frame type: Standard
Loader type: Manual
Loadlock
Gas box: Hot
RF Matches
Indexers
Automated cassette-to-cassette handling
Turbo pumps
Controllers
No Remote AC BOX
No generator rack
1995 vintage.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un outil de réoxydation à haute performance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est spécifiquement conçu pour améliorer la conception et les performances des circuits intégrés d'aujourd'hui et est utilisé pour réoxyder les films d'aluminium et les films diélectriques. AMAT P-5000 fournit des procédés d'oxydation reproductibles et fiables qui permettent de réduire le temps de cycle, le débit et les coûts. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 est la technologie de ré-oxydation la plus avancée de l'industrie, avec une architecture unique et sophistiquée qui comprend des technologies puissantes de matériel, de processus et de logiciels. Le matériel du réacteur AMAT P5000 comprend un pulvérisateur et un four à carbure de silicium à haute température, une source d'évaporation pour alimenter la matière active, un tube à quartz avec gaz de garde et un système de distribution de gaz de procédé. Tous ces composants se réunissent pour fournir un procédé d'oxydation optimisé. Le logiciel de contrôle de processus de P5000 permet à l'utilisateur d'exécuter des expériences en temps réel pour optimiser leurs paramètres de processus, contrôler la température et les débits, et conditionner l'environnement chimique dans la chambre. Le logiciel comprend à la fois cinétique et de contrôle de processus fonctionnalité, donnant aux utilisateurs le contrôle ultime sur leur processus d'oxydation. APPLIED MATERIALS P5000 utilise la technologie sophistiquée de contrôle des procédés AMAT, qui comprend quatre zones de température différentes pour chaque film livré à la chambre. Cela permet d'assurer un processus d'oxydation précis et répétable à chaque course. De plus, le « turbo-mode » du système permet des surtensions d'alimentation en oxygène pendant les transitions de processus. Cela permet d'obtenir un profil d'oxydation plus uniforme sur les plaquettes, ce qui améliore le rendement. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur P 5000 est un outil idéal pour l'application précise et précise des électrodes sur les films d'aluminium et les diélectriques. Il est capable de fournir des processus d'oxydation précis et répétables, ce qui réduit le temps de cycle, le débit et les coûts. Le système est supporté par le puissant logiciel de contrôle des processus APPLIED MATERIALS, qui permet aux utilisateurs de contrôler en dernier ressort leurs processus d'oxydation.
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