Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469 à vendre en France
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ID: 9294469
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
CVD System, 8"
Process: LTO CVD, TEOS
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un équipement complet à double tranche, à plaques parallèles, utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs optoélectroniques avancés. Ses plates-formes sont hautement configurables, permettant la précision et le contrôle de plusieurs étapes de processus simultanément. AMAT P-5000 est composé de plusieurs composants clés. Le paquet physique, ou PCB, est le processeur principal du système, assurant le contrôle de tous les autres composants et paramètres du processus. Cela comprend une unité intégrée de contrôle des mélanges de gaz, des capteurs de température et de pression, et une machine à vide avec un piège à froid. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 utilise une conception de réacteur à plaques parallèles, avec deux plaques électrostatiques symétriques, ou électrodes, placées de part et d'autre de la chambre. Cette conception permet une efficacité de traitement plus élevée, des pressions de processus plus faibles et un meilleur confinement des gaz réactifs. Les plaques sont fabriquées à partir de matériaux tels que le graphite, la céramique ou le métal. Comme les substrats sont placés entre les plaques, la température et/ou la pression de la chambre de procédé peuvent être régulées avec des mélanges d'air ou de gaz, régulés par le PCB, pour manipuler la vitesse de croissance du matériau désiré. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P-5000 utilise l'énergie RF pour aider à l'ionisation du gaz réactif, lui permettant de contribuer au dépôt en couches minces. La puissance RF des électrodes peut être modulée pour étudier la croissance du matériau dans différentes conditions. APPLIED MATERIALS P5000 offre également des capacités de métrologie intégrées. Il est équipé de plusieurs outils de détection optique qui mesurent les couches les plus fines d'un matériau. Ces outils permettent de détecter l'interférence de la lumière traversant l'échantillon ainsi que de mesurer l'épaisseur des couches déposées et la surface de l'échantillon. Ceci peut être extrêmement utile dans les caractérisations de couches exposées et les mesures de performances optiques. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 est un outil réacteur extrêmement efficace qui offre un environnement de processus étroitement contrôlé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et optoélectroniques. Avec sa combinaison de contrôle intégré des procédés, la conception modulaire des réacteurs et les capacités de métrologie, P-5000 est un outil puissant pour les fabricants de dispositifs avancés.
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