Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9313502 à vendre en France
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ID: 9313502
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
CVD System, 6"
Process: Delta TEOS
(3) Chambers
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est une chambre de gravure à plasma haute puissance et haut rendement conçue pour les procédés avancés de lithographie et de semi-conducteur. Cette chambre de gravure plasma est utilisée pour la gravure précise d'un large éventail de matériaux, dont des métaux, des polymères, des diélectriques. Il peut fonctionner jusqu'à 50 mBar et TEMPÉRATURES jusqu'à 500 ° C, permettant une gravure très précise qui permet un contrôle précis des profils de gravure. AMAT P-5000 a révolutionné les processus de gravure, fournissant une gravure précise des composants micro-électroniques complexes avec des rendements plus rapides. Le principal avantage d'APPLIED MATERIALS P 5000 réside dans sa combinaison d'une source d'énergie élevée et d'une conception précise de la chambre. Le réacteur utilise un type de source de plasma de haute puissance, toutes stations confondues, avec une large gamme de capacités en fréquence. Cela permet un contrôle précis de la vitesse de gravure et de la forme de la caractéristique en contrôlant à la fois la fréquence RF et le champ magnétique appliqué. En outre, l'utilisation de mélange de gaz avancé et de contrôle de pression garantit une uniformité de profondeur de gravure allant jusqu'à +/- 1 %. P5000 se vante également de sa capacité à maintenir des températures précises dans le réacteur. La chambre est refroidie à l'aide d'un système d'eau en boucle fermée, permettant un contrôle de température serré qui garantit une gravure uniforme sur une zone cible. Cela permet également d'améliorer la sécurité, de prévenir la corrosion et d'autres dommages liés à la réaction du matériau cible. APPLIED MATERIALS P-5000 comprend un certain nombre de capteurs intégrés et d'outils de diagnostic qui permettent un contrôle rapide et facile des processus. Le contrôle des paramètres du processus peut être contrôlé et ajusté en temps réel, permettant aux utilisateurs de peaufiner facilement le processus de gravure pour une performance optimale. Doté d'une technologie de pointe et d'un design robuste, le P 5000 est un réacteur de pointe qui permet des performances et une précision de gravure supérieures. Des petits composants électroniques aux dispositifs et systèmes à plus grande échelle, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 offre une solution fiable et économique pour la gravure à haut rendement.
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