Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377275 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 est un réacteur conçu pour des applications de dépôt diélectrique intermétallique. AMAT P-5000 dispose d'un équipement de distribution de vapeur à quatre chambres qui offre la souplesse de réglage des tendances et des performances à long terme supérieures requises pour les processus complexes à haut rapport d'aspect. LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le P 5000 présente un certain nombre de caractéristiques avancées telles qu'un comolobulateur de processus intégré, une pompe/chargeur à turbo multi-chambres à vide quad-reshield et un contrôleur PLC Allen-Bradley pour l'acquisition de données et le contrôle des processus. P5000 utilise des alimentations RF et DC de grande puissance pour permettre le dépôt sur une large gamme de plaquettes, y compris les plaquettes factices, polyester et pelliculées. Le système comprend également une interface utilisateur numérique programmable qui permet aux utilisateurs de régler l'épaisseur de film désirée et la plage de température de fonctionnement. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 offre également plusieurs fréquences RF programmables pour optimiser le processus pour différents schémas d'intégration. P-5000 dispose d'une unité de distribution de vapeur à quatre chambres qui se compose d'une turbo-pompe/chargeur, d'un collecteur d'injection de gaz inerte, d'un collecteur d'infiltration, d'un collecteur d'injection de gaz réactif et d'une chambre de réaction. Cette disposition permet de contrôler au mieux les taux de dépôt et la cohérence des procédés. Les collecteurs d'infiltration et d'injection de gaz réactifs permettent à AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 de déposer des couches métalliques et diélectriques avec une épaisseur uniforme et une excellente couverture. La chambre de réaction est chauffée avec des éléments chauffants multi-zones contrôlés avec précision pour assurer des températures uniformes tout au long du processus de dépôt. Pour mieux contrôler le processus, APPLIED MATERIALS P5000 comprend une machine de pyromètres optiques intégrés et un blindage de protection. Les pyromètres optiques mesurent la chaleur à l'intérieur de la chambre de réaction pour s'assurer que les températures du procédé restent conformes aux spécifications critiques. Le blindage permet de protéger le substrat et de traiter les gaz de toute décharge électrique générée dans l'outil. P 5000 fournit une gamme complète d'outils de processus pour tenir compte des substrats spécialisés, des règles de conception et des exigences de processus. L'actif fournit des outils de manutention de substrat supplémentaires pour les types de plaquettes spécialisées, ainsi qu'une variété de revêtements de protection pour la protection contre l'oxydation, l'uniformité des procédés et le contrôle des particules. Le modèle offre également des outils de contrôle du point final pour limiter la température de réaction, prévenir la contamination et améliorer la reproductibilité. En résumé, APPLIED MATERIALS P-5000 est conçu pour des applications de dépôt diélectrique intermétallique et dispose d'un équipement de distribution de vapeur à quatre chambres et de fonctionnalités avancées telles qu'un comolobulateur de processus intégré et une interface utilisateur programmable. Le système comprend également plusieurs fréquences RF et des pyromètres optiques intégrés et un blindage de protection pour assurer le contrôle des processus. L'unité offre des outils de processus supplémentaires pour tenir compte des substrats spécialisés, des règles de conception et des exigences de processus.