Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396223 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Le réacteur est un réacteur de pointe conçu pour un large éventail d'applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur thermique horizontal qui permet des procédés de dopage à grande échelle de diffusion, d'oxydation et de recuit. Le réacteur dispose d'une zone de traitement 40x40x60 avec une gamme complète de capacités de traitement du gaz. Ce réacteur a été conçu pour fournir une température basse, une grande uniformité et une faible consommation de gaz. Le réacteur a un débit global, ce qui le rend très adapté pour des applications de production de masse. Il a une large gamme de paramètres de traitement avec une plage de température de processus de 100 à 1100 degrés Celsius. Ceci lui permet de manipuler une variété de matériaux semi-conducteurs complexes. Le système ADPC (Adaptive Dynamic Process Control) du réacteur facilite un mode de fonctionnement auto-optimisant qui peut fournir une uniformité et une qualité constante sur une large gamme de recettes et de conditions de processus. La chambre du réacteur est conçue pour être très efficace, nécessitant une utilisation minimale du gaz tout en fournissant de faibles niveaux de contamination. Pour ce faire, on combine une géométrie de réacteur « boîte » avec un flux gazeux continu dans tout le volume de traitement. La chambre présente également une conception brevetée de purge arrière qui est spécifiquement destinée à minimiser les dégazages. AMAT P-5000 offre également une grande flexibilité de construction, ce qui lui permet d'être utilisé dans des configurations à chambre unique et multi-chambres. Ceci est possible grâce à la flexibilité de sa conception modulaire avec des composants facilement interchangeables. En outre, les matériaux appliqués P 5000 dispose d'un design de porte de boîte à gaz personnalisable qui lui permet de s'adapter à diverses installations existantes. Enfin, le réacteur APPLIED MATERIALS P5000 est conçu avec un système de surveillance standard de l'industrie, permettant aux opérateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus afin de maintenir des performances optimales. Le système de contrôle intégré du réacteur permet d'automatiser facilement les conditions du procédé pour améliorer les rendements. Ainsi, P-5000 réacteur est un choix idéal pour une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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