Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9254064 à vendre en France
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ID: 9254064
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Systems, 6"
(3) Chambers
Wafer loading type
Processing type: W-Plug
Exhaust:
Main system: NW 50
Gas line:
Unit / Maker / Model
Chamber A:
MFC1 / STEC / SEC-4400
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-8160
MFC4 / UNIT / UFC-1660
MFC5 / STEC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1661
MFC7 / UNIT / UFC-1660
MFC8 / UNIT / UFC-1660
Chamber B:
MFC1 / STEC / SEC-4400
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-1660
MFC4 / UNIT / UFC-1660
MFC5 / STEC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1100
MFC7 / UNIT / UFC-1260A
MFC8 / UNIT / UFC-1660
Chamber D:
MFC1 / STEC / SEC-7440
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-1660
MFC4 / STC / UFC-1660
MFC5 / STC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1660
MFC7 / UNIT / UFC-1660
MFC8 / UNIT / UFC-1660
OEM No marking transfer
Gauge:
Chamber / Maker / Model
Chamber A / MKS / 627A
Chamber B / MKS / 127AA
Chamber D / MKS / 624A
RF Unit:
Chamber / Maker / Model / Unit
Chamber A, B and D / ENI / OEM-12B / Generator
Chamber A / B / D / OEM / 0010-09750R / Matcher
Sub module:
Maker / Model / Unit
(3) EDWARDS / QDP40 / Dry pumps
EBARA / A30W / Dry pump
AMAT / APPLIED MATERIALS / AMAT0 / Heat exchanger
(2) UNISEM / UN2004A-HW / Scrubbers
Power supply: 208 VAC, 3 Phases, 50/60 Hz
1996 vintage.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W, également connu sous le nom d'équipement de dépôt chimique en phase vapeur à l'aéroport, est un outil polyvalent et fiable conçu pour des procédés semi-conducteurs avancés dans un ensemble de lots ou de grappes. Il est utilisé pour déposer des couches de matériau ultra-minces sur des plaquettes de silicium afin de fabriquer des structures complexes utilisées dans la production de circuits intégrés. AMAT P5000W est un équipement très efficace qui offre une répétabilité et une fiabilité supérieures. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000W dispose d'un loadlocks automatisé en une étape qui permet de placer les plaquettes directement dans la chambre de réaction. Cela élimine le besoin de transferts de plaquettes et accélère le temps du cycle de processus. Le volume de la chambre est d'environ 70 litres et la plage de température de fonctionnement est comprise entre - 5˚C et +450˚C. La conception polyvalente permet d'utiliser le système pour divers procédés, y compris le dépôt monocouche et multicouche de structures pelliculaires. P5000W a été conçu avec un robot de base PC et un environnement de contrôle complet des processus. Il est équipé d'une unité de rétroaction en temps réel unique qui surveille les résultats du processus. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W est optimisé pour le fonctionnement à basse température, ce qui le rend idéal pour les recettes de processus complexes. La machine de contrôle avancée offre un contrôle statistique complet, un diagnostic rapide, un réglage optimal et des capacités de contrôle chimique de recherche précises. AMAT P5000W possède une technologie Turbo Source qui permet de déposer avec précision des couches d'épaisseurs variables. Ceci permet de déposer des films extrêmement homogènes, ce qui conduit à une meilleure homogénéité de la coupe transversale et à une reproductibilité avantageuse. APPLIED MATERIALS P5000W dispose également d'une station d'étalonnage triple substrat, conçue pour permettre des épaisseurs de substrat précises et reproductibles. P5000W réacteur est un outil puissant et fiable conçu pour les procédés avancés de dépôt de semi-conducteurs. Sa gamme de fonctionnalités, y compris les loadlocks automatisés en une étape, le robot PC-base et l'environnement de contrôle des processus, la technologie Turbo Source, et la station d'étalonnage triple substrat, lui confèrent une répétabilité et une fiabilité supérieures pour un coût de possession optimal.
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