Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Preclean chambers for Endura CL #293633114 à vendre en France
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ID: 293633114
Taille de la plaquette: 12"
12"
Part numbers:
0190-12085
8113160G001
10846-XE28-ANL1.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La préchambre pour Endura CL est un réacteur conçu pour être utilisé dans les procédés CVD (Chemical Vapor Deposition). Cette chambre est utilisée en production de semi-conducteurs pour fournir une zone propre de haute qualité dans laquelle le dépôt de couches minces dans une zone localisée peut être effectué. La chambre de précontrainte utilise une technologie de nettoyage renforcée par plasma pour obtenir une surface de substrat ultra propre, qui est alors prête à recevoir des revêtements de protection délicats. Ce modèle de réacteur est équipé d'une chambre de serrure horizontale monobloc en acier inoxydable et d'un couvercle amovible en acier inoxydable muni d'un joint de serrure et d'un évent arrière. Il a une capacité interne allant jusqu'à 100 litres et une plage de température de fonctionnement allant de 0 à 150 ° C La chambre dispose également d'un module de contrôle de processus (PCM) cylindrique intégré qui est relié à un panneau de commande sur le dessus de la chambre pour un accès facile aux entrées et sorties numériques, ainsi que des commandes analogiques. Le PCM de la chambre est équipé de plusieurs composants conçus pour réaliser un prétraitement à haut rendement. Il dispose d'un moniteur optique d'émission, d'un contrôleur de processus, d'un module de gaz de procédé et d'un système à vide. Tous ces composants sont conçus pour travailler ensemble pour créer une atmosphère contrôlée dans la chambre, propice au prétraitement. La chambre de précontrainte a été conçue dans un souci de sécurité. Il est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, tels que des capteurs de pression, des interrupteurs d'arrêt d'urgence et un système d'alarme. En outre, il est également conçu pour être facile à entretenir et à mettre à niveau. Il a un design robuste qui est résistant aux produits chimiques durs et peut facilement être nettoyé et entretenu. En conclusion, AMAT Preclean chamber for Endura CL est un réacteur fiable et robuste conçu pour les procédés CVD. Il est conçu pour fournir une zone propre de haute qualité dans laquelle des couches minces peuvent être appliquées. La chambre est équipée de plusieurs composants qui sont conçus pour obtenir un prétraitement à haut rendement, ainsi que de plusieurs caractéristiques de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr du réacteur. Cette chambre est conçue pour être facile à entretenir et à mettre à niveau et est résistante aux produits chimiques durs pour un service fiable sur une longue période de temps.
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