Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254 à vendre en France

AMAT Process kit pour le réacteur Endura 5500 est un accessoire essentiel pour un équipement Endura 5500. Il comprend des outils et des composants essentiels pour effectuer diverses étapes d'un procédé de photorésistance ou de gravure, comme le strippage, le nettoyage, le dépôt et la métrologie. Le kit de traitement comprend des éléments tels qu'un robot de manutention, un module évacuable, un système de distribution de gaz, un certain nombre de condensateurs et une unité de métrologie in situ. Le robot de manutention peut être placé près du réacteur Endura 5500 et est utilisé pour déplacer des plaquettes et des cassettes à l'entrée et à la sortie de la chambre du réacteur. Le module évacuable est équipé d'une chambre évacuable pour les évacuations d'échantillons et autres opérations, et d'un rotor turbo moléculaire massif pour atteindre des vitesses de purge rapides. La machine de refoulement de gaz comporte un certain nombre de contrôleurs et de vannes précis pour fournir la pression de gaz correcte à la chambre du réacteur. Les condensateurs facilitent la connexion électrique directe au réacteur Endura 5500 et l'outil de métrologie permet des mesures automatisées de l'épaisseur du film pendant le processus de production. Les composants inclus sont conçus pour permettre aux utilisateurs de mettre en œuvre plusieurs piles de films, ce qui réduit le temps d'ingénierie nécessaire pour développer un processus Endura 5500. Le kit de processus permet aux utilisateurs d'optimiser rapidement leurs recettes et cycles cibles, ainsi que d'effectuer l'enregistrement et l'évaluation des données pour chaque recette. Le kit de procédé comprend également une salle blanche qui permet l'installation des composants Endura 5500 sans aucune contamination. La salle blanche comprend un réseau de stations équipées de lignes thermiques, électriques et de gaz, ainsi que deux sas contenant des filtres spéciaux et des soufflantes. L'actif comprend également un modèle de mise à la terre et un équipement de neutralisation ionique, qui minimise la charge sur les plaquettes traitées. Ce kit de processus est un élément essentiel pour un système Endura 5500, car il garantit que le processus sera répétable et fiable. Il est conçu pour offrir un environnement de travail sûr et efficace qui peut gérer une variété de processus complexes.