Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT #9219513 à vendre en France
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ID: 9219513
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12"
Chamber model: Producer
Bias gen: AE APEX 5513, 13.56 MHz, max 5000W
Bias match: AE
Source gen: AE OVATION 2760, 60MHz, max 2700W
Source match: AE
GDP Size: Y2O3, 14"
Turbo pump: EDWARDS STP-F2203C
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-250
FRC: MKS FRCA-26349, 1000 / 1000 1/4 VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Cathode chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Wall Chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Process kit coating: Y203
Cooling: HT 110 / 135 / FC 3283
Mainframe configuration:
IPUP Type: TOYOTAl 100L
Gas panel type: Next gen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306M Server
FIC PC Type: 306M Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side Storage: Left
Dry pumps & Scrubbers:
ChA: EDWARDS iH
ChB: EDWARDS iH
Chc: EDWARDS iH
MFC Configuration: UNIT PTI-125
MFC Configuration: UNIT PTI-125
EC2-61A / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-61B / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-061C / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT est un réacteur conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs, spécifiquement pour doper des plaquettes de silicium avec du bore gazeux. Le réacteur est conçu pour fournir une solution complète d'implant de bore pour la fabrication de puces CMOS (CMOS). AMAT PRODUCER EXT est la dernière version de la série PRODUCER et a été développée pour offrir une alternative à moindre coût aux systèmes de réacteurs monobloc. LE RÉACTEUR EXT DE FABRICATION DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS est un appareil de diffusion verticale à tranche unique optimisé pour la réalisation de profils dopants au bore. Il est conçu pour produire des concentrations de dopants jusqu'à 10x plus élevées que les systèmes de plaquettes simples précédents, et pour permettre des angles d'implants variables pour créer des caractéristiques ultra fines. Le réacteur est également conçu pour être très fiable et économe en énergie. PRODUCER EXT utilise une source de plasma avancée pour produire du gaz dopant au bore. Ce plasma utilise de l'énergie RF couplée de façon capacitive pour créer le gaz de bore qui est ensuite délivré à la plaquette dans un four de ligne de faisceau. Cela permet un dosage précis du bore aux profondeurs souhaitées sur la plaquette avec moins de déchets et une productivité plus élevée. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT comprend un visionneur de substrat haute résolution qui permet aux utilisateurs de surveiller le profil du spot de l'implant et de vérifier la précision du placement. L'utilisateur peut contrôler la profondeur de l'implant en utilisant le logiciel de contrôle de processus embarqué. On obtient ainsi le profil de concentration en dopant désiré sur chaque plaquette. AMAT PRODUCER EXT est conçu avec des composants modulaires faciles à installer et à entretenir. Il est ainsi facile d'augmenter la production et de reconfigurer le système pour différents profils d'implants. De plus, la petite taille de APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT permet de l'installer dans une variété d'installations, des laboratoires aux usines de production de masse. Le réacteur PRODUCER EXT est une solution idéale pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs, fournissant une solution fiable et rentable pour générer des profils d'implants de bore. Il est conçu pour offrir des capacités de dosage très précises et des rendements élevés avec un minimum de déchets et une excellente efficacité énergétique. Il peut être installé dans une variété de types d'installations et de tailles et est hautement configurable.
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