Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305827 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA est un réacteur de procédé avancé à haut débit. Il est spécialement conçu pour la production de plaquettes semi-conductrices, en raison de sa capacité à appliquer un recuit thermique rapide (RTA) et l'oxydation, tandis que son contrôle de température et le traitement des plaquettes à profil bas restent fiables. Le réacteur AMAT PRODUCER GT ETERNA est un outil fiable et intrinsèquement sûr qui convient à des applications telles que le recuit thermique rapide, l'oxydation, la diffusion et le dépôt diélectrique. Il offre des capacités de procédé avancées telles que le dépôt diélectrique avec des profils de température optimisés, le recuit thermique rapide des semi-conducteurs composés et le dépôt de matériaux à faible et haute résistance. Le réacteur est constitué d'un tube de procédé en silicium polycristallin, où l'oxydation à grande vitesse des plaquettes est effectuée, et d'une chambre de production qui abrite le tube de procédé et d'autres composants. La chambre de procédé se compose de trois circuits : le circuit de grille, le circuit d'oxydation haute pression et le circuit de recuit. Le circuit de grille est responsable de la gestion thermique du tube à embout en silicium polycristallin, tandis que le circuit d'oxydation haute pression assure un haut degré de contrôlabilité de la réaction d'oxydation et le circuit de recuit assure une activation thermique efficace du film. Le réacteur comprend également un certain nombre de mesures de sécurité intégrées telles que la sécurité des boucles d'écoulement, la protection contre la surtension et la CTE (protection globale thermique) afin d'augmenter encore les niveaux de sécurité pendant l'exploitation. Sécurité de la boucle d'écoulement surveille la pression à l'intérieur du réacteur et arrête le fonctionnement si elle dépasse un certain seuil fixé. La protection contre la surtension surveillera et fermera le système lorsque des tensions excessives sont détectées. CTE (Thermal Comprehensive Protection) est une caractéristique qui permettra de surveiller et d'arrêter le système lorsque les températures dans certaines parties critiques du réacteur dépassent des plages acceptables. FABRICANT DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS GT ETERNA est un outil fiable et polyvalent utilisé dans toutes les usines de semi-conducteurs du monde entier. Ces caractéristiques combinées à un contrôle amélioré des processus offrent aux clients une production fiable de plaquettes avec un rendement amélioré, ce qui entraîne des rendements plus élevés pour leurs opérations de production. Grâce à son haut débit, le réacteur PRODUCER GT ETERNA est capable de répondre aux exigences de la production de semi-conducteurs sans compromettre la qualité.