Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un équipement de traitement thermique rapide (RTP) monobloc utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour des performances et des débits élevés et dispose d'options de gaz multiples et la capacité de fournir un profilage rapide de température multi-cycles. L'unité RTP utilise un tube de quartz comme chambre de procédé, avec un suscepteur de graphite pour transporter la chaleur d'une lampe halogène alimentée électriquement à la plaquette. Le suscepteur est équipé d'un thermocouple et de buses d'injection de gaz qui assurent un contrôle précis de la température et une distribution uniforme du gaz. Le flux gazeux est délivré par un écran de faisceau moléculaire et peut être programmé pour fournir un mélange précis d'air ambiant et d'hydrogène, d'azote ou d'autres gaz de procédé. AMAT Producer GT dispose également d'une installation de refroidissement arrière qui garantit que la température de la plaquette ne dépasse jamais un niveau critique. Il est également équipé d'une technologie de détection optique avancée pour surveiller l'arrière de la chambre de processus et détecter tout potentiel de surchauffe de la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT dispose également d'une machine de manutention intuitive de plaquettes entièrement intégrée pour s'assurer que la plaquette glisse dans et hors du tube de quartz de manière sûre et sans erreur. L'outil peut également être configuré avec un certain nombre d'options telles que des robots de chargement/déchargement d'échantillons, des systèmes de cartographie de plaquettes et des systèmes de préchauffage multi-zones. En outre, Producer GT supporte une large gamme de températures de processus et des excursions thermiques rapides, ce qui le rend idéal pour les recettes de processus à haute température et le traitement doux. Il offre également un nivellement automatique de la plate-forme de suscepteur pour s'assurer que la distance entre les plaquettes et les suscepteurs est maintenue dans une tolérance étroite. L'actif est équipé de capacités de surveillance et de diagnostic avancées qui permettent aux ingénieurs de processus de surveiller à distance leurs recettes de processus, de surveiller l'environnement et les résultats de processus, et de contrôler le modèle à partir d'un emplacement central. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT dispose également de dispositifs de sécurité intégrés tels qu'un équipement de purge des gaz inertes, une protection contre la surchauffe et l'arrêt automatique en cas de panne de courant. Dans l'ensemble, AMAT Producer GT est un système robuste et fiable qui fournit une solution de traitement RTP rapide et efficace pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour une performance et une précision optimales, et est bien adapté pour une gamme d'applications telles que le recuit thermique rapide, l'oxydation thermique rapide, et la formation de jonctions peu profondes.