Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158 à vendre en France
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ID: 293618158
Style Vintage: 2008
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
EFEM
Load port
PC
(2) KAWASAKI 3NX510B-D001 Desk handlers
KAWASAKI 30D61I-A003 Holding controller
Transformer
BROOKS Mag8 0190-25011 Robot
Robotic arm
(3) RPS 3L
(3) Apex 3013 RF Generator
(3) Heaters
(3) Chambers
(3) Power boxes missing
Gas configuration:
NF3 1000sccm
NF3 1000sccm
Ar 5000sccm
(2) O2 15000sccm
C3H6 3000sccm
He 5000sccm
He 15000sccm
N2 15000sccm
Ar 15000sccm
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un équipement avancé d'évaporateur thermique conçu pour déposer des couches minces sur divers substrats. Il est principalement utilisé dans la fabrication de matériaux et de composants électroniques. AMAT Producer GT offre une excellente fiabilité et précision pour le dépôt de couches minces selon les spécifications exactes du fabricant. Le système est capable de déposer un large éventail de matériaux dont le silicium, l'aluminium, le titane et d'autres métaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT utilise un évaporateur à faisceau d'électrons pour déposer des couches minces très uniformes sur le substrat. Le faisceau d'électrons fonctionne en chauffant le matériau source dans un creuset d'électrons puis en lançant un faisceau d'électrons pour évaporer le matériau sur le substrat. Le faisceau peut être focalisé sur une partie du substrat pour déposer des films plus épais, ou le faisceau peut être réparti sur plusieurs zones pour produire des films plus uniformes. Le faisceau est capable de produire des films d'épaisseurs allant du sous-nanomètre au micro-mètre. La température du matériau source est contrôlée par un suscepteur de graphite qui est chauffé par induction haute fréquence. Cette combinaison d'induction haute fréquence et de chauffage au suscepteur permet un contrôle précis de la température et un dépôt uniforme. Le producteur GT comprend également une unité de vide pour l'évacuation de la chambre et une plaque de base pour le montage du substrat. La machine à vide comprend une turbomachine, un silencieux et une pompe mécanique active pour l'évacuation coaxiale. Ceci permet de contrôler précisément le processus d'évacuation pour maintenir l'atmosphère souhaitée pour le dépôt du film. Enfin, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT est équipé d'un spectromètre de masse haute résolution pour la détection des fuites et d'un outil de sauvegarde redondant pour un meilleur contrôle des processus. Le spectromètre de masse haute résolution est conçu pour permettre la détermination précise de la pression totale du processus pour permettre une répétabilité précise du processus. AMAT Producer GT est un actif avancé et fiable d'évaporateur thermique offrant précision et uniformité pour le dépôt de couches minces. Il est idéal pour la fabrication de matériaux et composants électroniques sophistiqués.
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