Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293793584 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur avancé à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) conçu pour la production en masse d'une large gamme de dispositifs et de composants dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système offre des taux de dépôt exceptionnels et une uniformité combinée au coût de propriété de premier plan de l'industrie. AMAT Producer GT travaille en fournissant un environnement précisément contrôlé au sein du réacteur pour déposer une large gamme de couches sur le substrat de la plaquette. Le système est équipé de technologies avancées de surveillance des processus qui garantissent des performances de processus fiables et répétables. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT utilise un procédé en plusieurs étapes qui combine une source de plasma à distance et une chambre de réaction en céramique à paroi chaude. Ce procédé permet d'obtenir une homogénéité et des taux de dépôt supérieurs à ceux des systèmes à chambre unique. La haute précision Plasma for Enhanced Uniformity (PEU) assure un contrôle rapide et précis de la température du substrat et de la couche de masque dur diamant (DLC). La technologie propriétaire PEU compense toute irrégularité puisqu'elle initie son propre plasma dans une zone définie du réacteur assurant ainsi l'uniformité de dépôt de l'ensemble de la plaquette. La couche de masque dur DLC est également utilisée pour fournir un revêtement de protection qui augmente la durée de vie du réacteur tout en améliorant sa fiabilité. Le producteur GT dispose également d'un filtre numérique ionique (DIF) qui filtre les particules chargées indésirables du réacteur. Ceci empêche l'interruption du processus due aux instabilités plasmatiques et à la contamination des particules. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT utilise également le Flexible Configuration System (FCS) pour le contrôle des processus. Cela aide à établir différentes configurations pour différents flux de processus. Cela permet d'ajuster facilement les paramètres du processus en fonction des besoins réels. AMAT Producer GT est un réacteur fiable, rentable et efficace pour la production de semi-conducteurs à grande échelle. Ses caractéristiques avancées offrent d'excellents taux de dépôt et une uniformité avec un coût de propriété minimal. En outre, son contrôle flexible réduit le temps de cycle tout en assurant des performances de processus fiables et reproductibles.
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