Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9170202 à vendre en France

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor est un appareil technologique de pointe conçu pour les industries semi-conductrices et connexes. Cet outil permet de fabriquer des matériaux et des composants de haute qualité qui sont essentiels dans la production de la technologie d'aujourd'hui. Le producteur GT est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à plasma thermique, avec une chambre de traitement de 240 mm de diamètre et 350 mm de profondeur. Il est équipé d'une source de tunnel à double chambre (TCT) haute performance, permettant la production de propriétés de matériaux uniformes et reproductibles sans gradients thermiques à partir de parties du substrat les plus proches de la source par rapport aux régions les plus éloignées de la source. Le réacteur est construit avec la technologie Intelli- Match™ Advanced Source Matching and Modeling, qui aide à gérer de manière fiable le contrôle de la puissance du réacteur. Il alsofeatures appariement automatique des sources de fréquence entre les chambres primaire et secondaire, ainsi que des équipements de commande d'impédance pour un fonctionnement sûr. AMAT Producer GT dispose d'un système de distribution de gaz très efficace, doté d'un système d'atomisation et d'injection de gaz pour une composition et une distribution de gaz contrôlées avec précision. Le réacteur dispose également d'une pression de chambre ajustable, dans toute la gamme allant du vide rugueux à la pression atmosphérique, pour obtenir des conditions de processus uniformes sur l'ensemble du substrat de la plaquette. Il est équipé de capacités avancées de contrôle de la température, avec une unité avancée de contrôle de la température et de contrôle de la croissance de la couche de réaction. Sa chambre de processus thermique dispose d'un contrôle de température robuste avec une précision ± 2 ° C Le réacteur est également équipé d'une machine à source de courant continu haute tension (HV-DC), conçue pour minimiser les perturbations plasmatiques et générer des ondes de résonance cyclotron électronique, améliorant le confinement et l'homogénéité du plasma. Sa source d'énergie HV-DC fournit également un contrôle de la densité de puissance maximale et de la densité plasmatique maximale, pour des taux de dépôt plus rapides. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur GT Producteur est capable d'exécuter une large gamme de produits chimiques de procédé, y compris des films tels que TiN, Al2O3, SiO2, PECVD, et l'élimination de photorésist, ainsi que des procédés thermiques tels que l'oxydation thermique, la diffusion et le recuit. Il est également capable d'exécuter des processus par lots en liaison avec APPLIED MATERIALS 'Ventura® Central Platform. L'outil est équipé d'une suite logicielle puissante, conçue pour améliorer la productivité et permettre des capacités diagnostiques améliorées. Il est intégré à la suite logicielle PreQual d'AMAT/APPLIED MATERIALS, permettant le développement rapide et efficace de processus et la production de films de haute qualité. Le producteur GT est conçu pour soutenir la fabrication à très haut volume avec un débit maximal et une fiabilité supérieure, même dans les environnements les plus exigeants. Il est également certifié pour l'installation dans des zones dangereuses, avec une évaluation ISO classe 5 salle blanche pour les environnements dangereux. Cet outil fiable est capable de produire constamment des résultats remarquables pour ses utilisateurs.