Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198996 à vendre en France
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Vendu
ID: 9198996
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
CVD System, 12"
Number of loadports: 4
Factory interface model: 5.4
AMHS Configuration: OHT
Chamber A:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber B:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber C:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Computers:
FE Computer type: FES
FI Computer type: FIS
RT Computer type: CL7
Misc hardware:
FI Robot type: KAWASAKI Track
Buffer robot type: GT
Remote AC: 208V
Heat exchanger 1: Unisem
FI Robot blade type: Aluminum
Buffer robot blade type: Ceramic
LCF/Wafer detect: LCF
Roll around monitors: (2)
Ozone cabinet: Inusa
Number of ozone generators: 3 MKS
Gas panel configurations:
Gas box type: 1-1/8 C-Seal surfacemount
Stick 1: NF3 - 15000sccm
Stick 2: AR - 15000sccm
Stick 3: N2 - 5000sccm
Stick 4: N2 - 50000sccm
Stick 5: He - 30000sccm
Liquid 1: TEOS - 7g/min
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT est un système de dépôt très avancé qui offre une gamme de solutions personnalisables pour les procédés de dépôt. Cette chambre de réaction comprend une architecture de source entièrement flexible, permettant d'adapter les recettes de dépôt aux besoins spécifiques des clients. AMAT Producer GT est conçu pour assurer un contrôle précis de la température, de la pression et du débit du substrat tout en utilisant des techniques de dépôt continu de bandes. La structure principale de la chambre de réaction du producteur de matériaux appliqués GT est constituée d'une chambre à vide métallique de haute qualité capable de supporter une grande variété de tailles et de formes de substrat. A l'intérieur de la chambre à vide se trouve la source, composée d'un générateur RF de forte puissance et d'un creuset. Le réacteur de production dispose également de technologies avancées de balayage avec des capacités d'auto-alignement, fournissant un contrôle précis et un dépôt uniforme. Cela garantit une couverture uniforme pour tous les substrats, quelle que soit leur forme et leur taille. Le générateur RF et le creuset sont reliés à une chambre de dépôt qui utilise une source CVD pour réaliser des films aluminisés. La source CVD fournit une source très abondante du gaz filmogène, permettant le dépôt simultané de couches extrêmement minces sur plusieurs substrats. De plus, la chambre de dépôt permet d'obtenir des températures de substrat extrêmement basses, jusqu'à 20oC. Ceci permet d'améliorer la qualité du film, avec la possibilité de dépôts de ratio d'aspect élevé et une résistance de contact réduite. Afin de maximiser l'efficacité et la productivité, le producteur GT est équipé d'une gamme d'outils avancés. Le bras robot embarqué est conçu pour charger et décharger les substrats rapidement, minimisant les temps d'arrêt entre les processus. La chambre de réaction comporte également un système de transport de bande, permettant de charger et décharger en même temps un rouleau complet de substrat. Cela augmente le débit et permet de manipuler des lots de plus grandes tailles en une seule fois. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT est une solution hautement avancée et personnalisable qui peut fournir des dépôts de précision et une productivité accrue. Cette chambre de réaction dispose d'une gamme de technologies de pointe, telles que le balayage automatisé, la source CVD, le bras robot, et le système de transport web, ce qui permet de l'adapter aux exigences spécifiques du processus.
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