Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074 à vendre en France

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ID: 9233074
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12" Control system: Device net protocol EFEM Communication: SFEM Wafer sliding detection sensors: LCF Signal tower: Common SPEC Door interlock sensor Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber Slit valve: L-Motion No viton o-ring Air regulator EYE Mark display on M/C: LP1, LP2 Chamber A / B / C Gas box Turbo pump RPC RF Generator Match Electric valve & Load lock & Tm installed TM Blade: ALN No o-ring in chamber region No gate valve o-ring & Air regulator Missing / Detaching parts: (6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796 Q-Code Q400-168177 FI. RT, FE Computer Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C Turbo screen location: Below chamber Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin RF Reflect filter system / BIAS: Auto match Heat exchanger coolant: ZT180 Chamber lift speed: Stepping motor ESC Water leak RF Generator reflect power: Below set point 0.5% Input / Output port stage: OHT FOUP Capability: (25) Slots System monitor: LCD Remote monitor: Keyboard, LCD Gas line: 5- RA surface mounted c-seal Gas configuration: C3H6, O2, NF3 Gas line polishing: E/P 5-RA Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy Gas box temperature: Display by digital gauge Negative voltage MFC signal: Display interlock Chamber pump: SAMSUNG Load lock & TM Pump Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control Pressure transducer for chamber: ATM Switch TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP Ground for D-net: Chassis Circuit safeguard: Circuit breakers Internal utility line color: SEMI Standard Head exchanger: Pressure control 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de dépôt électrochimique vertical conçu pour offrir des solutions de processus de dépôt pour la fabrication de circuits avancés. Ce réacteur est une cuve cylindrique à bec conçu pour fournir des procédés de dépôt de qualité sur une gamme complète de substrats tels que l'aluminium, le cuivre et le titane. Il est livré en deux modèles, AMAT Producer GT-800 et APPLIED MATERIALS Producer GT-1000, et dispose d'une chambre de processus accordable pour de multiples capacités de processus tels que le cuivre, le cuivre sans électrodéposition, les procédés ALD et CVD. La conception repose sur une architecture de bêcher à haut rapport d'aspect qui combine une cuve verticale, un condensateur de faible masse thermique et un support de substrat intégré. Cette géométrie crée un procédé uniforme et évolutif avec des contacts électriques à faible résistance qui sont en contact avec un espace uniforme entre les contacts et les parois de la cuve réactionnelle. Producteur GT est également livré avec des options logicielles et matérielles personnalisables avancées pour un contrôle précis des processus. Cela permet un fonctionnement facile et des résultats d'électrodéposition reproductibles avec des paramètres de processus réalistes et cohérents. La chambre de procédé est protégée de la contamination grâce à des contrôles stricts des procédés et des procédures de lavage sous vide. La conception combine un équipement de distribution de liquide optimisé et convivial avec une logique de commande de pompe sophistiquée, permettant des solutions d'électrodéposition précises, cohérentes et répétables à haut débit. Le réacteur est équipé d'une gestion avancée de la température pour la précision et la répétabilité des programmes, ainsi que d'un système intégré de contrôle de l'humidité qui assure des niveaux d'humidité contrôlés pendant le processus. L'unité de contrôle avancée assure également la surveillance en temps réel du processus avec des mesures dans le temps, la température, la pression, l'épaisseur et d'autres paramètres critiques du processus. La variété d'options personnalisables sur le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT offre des capacités exceptionnelles de solution de dépôt électrochimique. Il est capable de déposer un large éventail de matériaux à partir d'une large gamme de substrats avec un contrôle de procédé exceptionnel. La machine évoluée et conviviale offre une flexibilité accrue et des résultats reproductibles.
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