Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074 à vendre en France
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Vendu
ID: 9233074
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12"
Control system: Device net protocol
EFEM Communication: SFEM
Wafer sliding detection sensors: LCF
Signal tower: Common SPEC
Door interlock sensor
Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber
Slit valve:
L-Motion
No viton o-ring
Air regulator
EYE Mark display on M/C: LP1, LP2
Chamber A / B / C
Gas box
Turbo pump
RPC
RF Generator
Match
Electric valve & Load lock & Tm installed
TM Blade: ALN
No o-ring in chamber region
No gate valve o-ring & Air regulator
Missing / Detaching parts:
(6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796
Q-Code Q400-168177
FI. RT, FE Computer
Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air
Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS
Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C
Turbo screen location: Below chamber
Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine
Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin
RF Reflect filter system / BIAS: Auto match
Heat exchanger coolant: ZT180
Chamber lift speed: Stepping motor
ESC Water leak
RF Generator reflect power: Below set point 0.5%
Input / Output port stage: OHT
FOUP Capability: (25) Slots
System monitor: LCD
Remote monitor: Keyboard, LCD
Gas line: 5- RA surface mounted c-seal
Gas configuration: C3H6, O2, NF3
Gas line polishing: E/P 5-RA
Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage MFC signal: Display interlock
Chamber pump: SAMSUNG
Load lock & TM Pump
Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP
Ground for D-net: Chassis
Circuit safeguard: Circuit breakers
Internal utility line color: SEMI Standard
Head exchanger: Pressure control
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de dépôt électrochimique vertical conçu pour offrir des solutions de processus de dépôt pour la fabrication de circuits avancés. Ce réacteur est une cuve cylindrique à bec conçu pour fournir des procédés de dépôt de qualité sur une gamme complète de substrats tels que l'aluminium, le cuivre et le titane. Il est livré en deux modèles, AMAT Producer GT-800 et APPLIED MATERIALS Producer GT-1000, et dispose d'une chambre de processus accordable pour de multiples capacités de processus tels que le cuivre, le cuivre sans électrodéposition, les procédés ALD et CVD. La conception repose sur une architecture de bêcher à haut rapport d'aspect qui combine une cuve verticale, un condensateur de faible masse thermique et un support de substrat intégré. Cette géométrie crée un procédé uniforme et évolutif avec des contacts électriques à faible résistance qui sont en contact avec un espace uniforme entre les contacts et les parois de la cuve réactionnelle. Producteur GT est également livré avec des options logicielles et matérielles personnalisables avancées pour un contrôle précis des processus. Cela permet un fonctionnement facile et des résultats d'électrodéposition reproductibles avec des paramètres de processus réalistes et cohérents. La chambre de procédé est protégée de la contamination grâce à des contrôles stricts des procédés et des procédures de lavage sous vide. La conception combine un équipement de distribution de liquide optimisé et convivial avec une logique de commande de pompe sophistiquée, permettant des solutions d'électrodéposition précises, cohérentes et répétables à haut débit. Le réacteur est équipé d'une gestion avancée de la température pour la précision et la répétabilité des programmes, ainsi que d'un système intégré de contrôle de l'humidité qui assure des niveaux d'humidité contrôlés pendant le processus. L'unité de contrôle avancée assure également la surveillance en temps réel du processus avec des mesures dans le temps, la température, la pression, l'épaisseur et d'autres paramètres critiques du processus. La variété d'options personnalisables sur le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT offre des capacités exceptionnelles de solution de dépôt électrochimique. Il est capable de déposer un large éventail de matériaux à partir d'une large gamme de substrats avec un contrôle de procédé exceptionnel. La machine évoluée et conviviale offre une flexibilité accrue et des résultats reproductibles.
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