Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de dépôt chimique à diffusion verticale à haute productivité de 300 mm, idéal pour la production de grands volumes de matériaux semi-conducteurs à couches minces. Le réacteur est conçu pour répondre aux exigences de fabrication à haut volume, de contrôle des procédés et d'uniformité. La géométrie verticale de ce réacteur assure un débit élevé avec des taux de dépôt faibles, tout en assurant une excellente uniformité sur toute la surface de la plaquette. AMAT Producer GT dispose d'un réacteur monocouche à haute température. Il est équipé de trois générateurs RF de 6 kW, 800 ampères, en plus d'un transformateur RF à trois axes. Cet équipement est idéal pour le dépôt de matériaux à couches minces, tels que le silicium, le tungstène, le titane, le tantale, le cuivre et l'aluminium. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est spécialement conçu pour optimiser l'uniformité des couches. La température de la chambre est étroitement régulée et le refroidissement des gaz avant introduction dans la chambre de dépôt réduit considérablement la température de la chambre. Le réacteur dispose d'un système de verrouillage de charge multi-étages, offrant la flexibilité et la stabilité du processus à travers plusieurs chambres. Les paramètres du processus, y compris la température, la pression et le débit de gaz, peuvent être ajustés avec précision. Il utilise également une unité de distribution de gaz à quatre chambres, ce qui réduit encore la variabilité des procédés. En outre, une machine à barrière de gaz optionnelle assure une suppression efficace de la contamination à l'intérieur de la chambre de dépôt. Pour optimiser le contrôle des processus, Producer GT est équipé d'une gamme complète d'outils de diagnostic et de contrôle en temps réel. Ces outils permettent la surveillance en temps réel de toutes les variables de processus critiques, ainsi que la capacité d'ajuster rapidement les paramètres de processus pour répondre à tout réglage ou changement opérationnel. Cela garantit que des résultats uniformes sont obtenus de manière cohérente dans les grandes séries de production. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT dispose également d'une serrure à échantillon, spécialement conçue pour des dimensions de plaquettes de 300 mm, 25 mm et 12 pouces. Le loadlock comprend un port de manutention des plaquettes, un port de purge des gaz, un collecteur de gaz et des commandes de positionnement des échantillons, qui permettent de contrôler complètement l'insertion et le retrait des échantillons de la chambre du loadlock. AMAT Producer GT offre un environnement de production polyvalent, fiable et fiable pour la fabrication de matériaux semi-conducteurs à couches minces de haute qualité. Sa conception avancée garantit une excellente uniformité des couches, la flexibilité des processus et le contrôle des processus, tandis que sa construction robuste assure qu'il répond aux exigences exigeantes de la fabrication à haut volume.