Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9265758 à vendre en France

ID: 9265758
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12" EFEM Transfer module AC Rack NPP Rack WIP Delivery type: OHT Pre-alignment and centering: Single axis aligner Wafer pass thru and storage: 7 Slots wafer pass thru KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots (4) Load ports E84 Sensors and cables OMRON With RF Light curtain Carrier ID host interface Light towers UPS Interface Chamber process: HARP USG Process chamber type: Chamber A, B and C Twin: HT-ACL Local center finder Robot blade and type: FX Dual deck ceramic Chamber A, B and C: Frequency: Single APEX 3000 RF Generator Heater: HA12 Dual zone heater Single source with RF cap Manometer: 10 / 100 Torr / 70 Trip Clean type (RPS): Single (NPR804L) No NDTR endpoint No DPA Foreline, 2" ISO: MKS 99D0654 TV: MKS 683B-26033 Monitors: Stand alone TTW With keyboard Gas delivery - APF GP: MFC: UNIT 125 GF 125 No regulated gas panel Gas feed: Bottom Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust No interlock indicator No transducers No display gas pallet No liquid source Gas pallet configuration: Chamber A: Gas / Size / Model AR / 4000 / Unit 125 O2 / 15000 / Unit 125 C3H6 / 3000 / GF 125 HE / 5000 / Unit 125 N2 / 10000 / Unit 125 C3H6 / 3000 / Unit 125 O2 / 10000 / Unit 125 AR / 10000 / Unit 125 NF3 / 5000 / Unit 125 Chamber B and C: Gas / Size / Model AR / 4000 / Unit 125 O2 / 15000 / Unit 125 C3H6 / 3000 / Unit 125 HE / 5000 / Unit 125 N2 / 10000 / Unit 125 C3H6 / 3000 / Unit 125 O2 / 10000 / Unit 125 AR / 10000 / Unit 125 NF3 / 5000 / Unit 125 Missing parts: A1 RF Signal cable L/L EUROTHERM controller (2) PIRANI Gauges Chamber C: (2) Heaters (2) L/L Lift LM guides Upper L/L foreline (3) Chamber AC box kits Mainframe box Driver box kit Power supply: 208 V, 50/60 Hz 2006 vintage.
AMAT (MATÉRIAUX APPLIQUÉS) AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est un réacteur à dépôt chimique à haute température en phase vapeur (CVD) conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur permet un certain nombre de procédés tels que l'oxydation, la nitridation et la carbidification. AMAT Producer GT est disponible en une seule configuration de plaquettes ou en lot et est conçu pour la stabilité et la fiabilité à long terme. Le réacteur utilise un équipement éprouvé de distribution forcée de gaz, capable de produire des profils de température et de concentration uniformes à l'intérieur de la chambre du réacteur. Ceci garantit une qualité de film cohérente et un profil de dopage très uniforme. Le réacteur est équipé de chauffages robustes refroidis à l'air et d'un système de régulation de température de pointe pour améliorer l'uniformité des procédés. Les éléments chauffants du réacteur utilisent une enveloppe d'eau active pour assurer l'uniformité de température à la surface de la plaquette. Ceci évite la surchauffe de la plaquette et assure un dépôt plus uniforme. Le réacteur est construit en acier inoxydable et comporte une chambre à vide, une plaque discontinue, une unité de refoulement de gaz et un générateur d'induction. Le réacteur utilise une pompe de défilement de grande capacité pour le vide élevé et le contrôle rapide et le cyclage des niveaux de pression. La chambre est isolée avec du quartz ou du graphite pour réduire les pertes de charge thermique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT utilise un générateur RF de haute capacité, de faible puissance et une machine de distribution de puissance RF pour une production de plasma robuste et fiable. L'outil de contrôle de la température est très précis et précis, permettant des taux de dépôt de haute qualité et uniformes sur une large gamme de débits, de températures et de pressions. Le réacteur comprend une large gamme de recettes de procédés pour divers matériaux et applications, ainsi que la personnalisation des voies d'écoulement et des sélections de soupapes. Il est également disponible avec une bibliothèque de recettes en option et un ensemble de contrôle informatique pour l'exploitation de plusieurs réacteurs en suite. En résumé, le producteur GT est un réacteur CVD très fiable et efficace conçu pour fournir une qualité de film uniforme et un profil de dopage uniforme. Ses chauffages refroidis à l'air robustes et son atout de contrôle de la température garantissent des propriétés et des performances uniformes, tandis que sa large gamme de recettes de processus lui permettent d'être utilisé pour des applications polyvalentes.
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