Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9265758 à vendre en France
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ID: 9265758
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12"
EFEM
Transfer module
AC Rack
NPP Rack
WIP Delivery type: OHT
Pre-alignment and centering: Single axis aligner
Wafer pass thru and storage: 7 Slots wafer pass thru
KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
(4) Load ports
E84 Sensors and cables
OMRON With RF
Light curtain
Carrier ID host interface
Light towers
UPS Interface
Chamber process: HARP USG
Process chamber type:
Chamber A, B and C Twin: HT-ACL
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
Frequency: Single
APEX 3000 RF Generator
Heater: HA12 Dual zone heater
Single source with RF cap
Manometer: 10 / 100 Torr / 70 Trip
Clean type (RPS): Single (NPR804L)
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: MKS 99D0654
TV: MKS 683B-26033
Monitors:
Stand alone
TTW With keyboard
Gas delivery - APF GP:
MFC:
UNIT 125
GF 125
No regulated gas panel
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
No liquid source
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Gas / Size / Model
AR / 4000 / Unit 125
O2 / 15000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / GF 125
HE / 5000 / Unit 125
N2 / 10000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
O2 / 10000 / Unit 125
AR / 10000 / Unit 125
NF3 / 5000 / Unit 125
Chamber B and C:
Gas / Size / Model
AR / 4000 / Unit 125
O2 / 15000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
HE / 5000 / Unit 125
N2 / 10000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
O2 / 10000 / Unit 125
AR / 10000 / Unit 125
NF3 / 5000 / Unit 125
Missing parts:
A1 RF Signal cable
L/L EUROTHERM controller
(2) PIRANI Gauges
Chamber C: (2) Heaters
(2) L/L Lift LM guides
Upper L/L foreline
(3) Chamber AC box kits
Mainframe box
Driver box kit
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2006 vintage.
AMAT (MATÉRIAUX APPLIQUÉS) AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est un réacteur à dépôt chimique à haute température en phase vapeur (CVD) conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur permet un certain nombre de procédés tels que l'oxydation, la nitridation et la carbidification. AMAT Producer GT est disponible en une seule configuration de plaquettes ou en lot et est conçu pour la stabilité et la fiabilité à long terme. Le réacteur utilise un équipement éprouvé de distribution forcée de gaz, capable de produire des profils de température et de concentration uniformes à l'intérieur de la chambre du réacteur. Ceci garantit une qualité de film cohérente et un profil de dopage très uniforme. Le réacteur est équipé de chauffages robustes refroidis à l'air et d'un système de régulation de température de pointe pour améliorer l'uniformité des procédés. Les éléments chauffants du réacteur utilisent une enveloppe d'eau active pour assurer l'uniformité de température à la surface de la plaquette. Ceci évite la surchauffe de la plaquette et assure un dépôt plus uniforme. Le réacteur est construit en acier inoxydable et comporte une chambre à vide, une plaque discontinue, une unité de refoulement de gaz et un générateur d'induction. Le réacteur utilise une pompe de défilement de grande capacité pour le vide élevé et le contrôle rapide et le cyclage des niveaux de pression. La chambre est isolée avec du quartz ou du graphite pour réduire les pertes de charge thermique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT utilise un générateur RF de haute capacité, de faible puissance et une machine de distribution de puissance RF pour une production de plasma robuste et fiable. L'outil de contrôle de la température est très précis et précis, permettant des taux de dépôt de haute qualité et uniformes sur une large gamme de débits, de températures et de pressions. Le réacteur comprend une large gamme de recettes de procédés pour divers matériaux et applications, ainsi que la personnalisation des voies d'écoulement et des sélections de soupapes. Il est également disponible avec une bibliothèque de recettes en option et un ensemble de contrôle informatique pour l'exploitation de plusieurs réacteurs en suite. En résumé, le producteur GT est un réacteur CVD très fiable et efficace conçu pour fournir une qualité de film uniforme et un profil de dopage uniforme. Ses chauffages refroidis à l'air robustes et son atout de contrôle de la température garantissent des propriétés et des performances uniformes, tandis que sa large gamme de recettes de processus lui permettent d'être utilisé pour des applications polyvalentes.
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