Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971 à vendre en France
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Vendu
ID: 9282971
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2016
CVD System, 12"
Process: Frontier nitride poly etcher
Factory interface: (3) FOUPs
Handler: Standard automation
(3) Chambers:
Chamber A: SiCoNi PME
Chamber B: Frontier SMR Nitride
Chamber C: (2) Frontier SMR Poly
Options:
L Motion slit valves
Frontier gas panels positions B and C
Swap kits
Siconi GP - A
FI Chemical filter
Heat exchanger integration parts
Nitride conversion kit
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de pointe conçu pour le traitement des matériaux. Il s'agit d'un type de machine à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD). Ce réacteur utilise l'amélioration des plasmas ionisés pour former des films et des revêtements de matériaux. AMAT Producer GT dispose d'un support de substrat en fer céramique haute résistance conçu pour résister à des températures plus élevées. Ce support de substrat comporte un suscepteur à cristaux de quartz pouvant atteindre des températures allant jusqu'à 300 ° C Il comporte également deux chauffages céramique-fer qui permettent des températures plus élevées jusqu'à 400 ° C MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur producteur GT est construit avec une conception multi-cercles-combustible. Cette conception utilise une configuration unique d'anneaux multiples pour produire un dépôt plasma uniforme. La conception multi-cercles-carburant permet également un contrôle précis du processus de transition sans défaut entre les cycles de dépôt et de nettoyage. Le réacteur est équipé d'une double zone unique, qui peut programmer différentes conditions plasmatiques pour différents types de matériaux. Le producteur GT utilise la technologie avancée de résonance cyclotron électronique (ECR). Cette technologie de pointe permet des plasmas haute densité avec une ionisation améliorée. Cette ionisation accrue permet des taux de dépôt plus rapides et une plus grande uniformité dans les films et revêtements de matériaux. L'équipement ECR réduit également les coûts de production associés au processus de dépôt. Le réacteur a une plage de pression sous vide de 1x10-7 à 1x10-3 Torr. Il possède également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles que l'accès anti-explosion à la chambre, l'arrêt d'urgence de l'air, et un tuyau de dérivation de gaz chaud. En outre, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT est équipé d'un système avancé d'accès à distance. Cela permet de contrôler et de surveiller le réacteur depuis un endroit éloigné. L'unité d'accès à distance comprend également le diagnostic, la surveillance en temps réel et l'enregistrement des données. Cette machine est conçue pour minimiser les temps d'arrêt et réduire les coûts. En résumé, AMAT Producer GT est un réacteur avancé à dépôt chimique en phase vapeur enrichi par plasma (PECVD). Il dispose d'un contrôle à double zone, d'une conception multi-cercles de carburant, d'une technologie de résonance cyclotron électronique (ECR) et d'un outil avancé d'accès à distance. Ce réacteur est conçu pour obtenir des taux de dépôt plus rapides et une plus grande uniformité dans les films et revêtements de matériaux. Il est idéal pour les applications de traitement de matériaux qui nécessitent des températures élevées et un contrôle précis des processus.
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