Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083 à vendre en France
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Vendu
ID: 9284083
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
CVD System, 12"
Process: Frontier nitride poly etcher
Factory interface: (3) FOUPs
Handler: Standard automation
(3) Chambers:
Chamber A: SiCoNi PME
Chamber B and C: Frontier SMR Poly
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de gravure avancé conçu pour l'intégration de procédés avancés en silicium sur isolant à semi-conducteur (SOI). Cette version d'AMAT Producer GT a été conçue avec des tailles de fonctionnalités de pointe, une homogénéité supérieure et une latence optimale. En outre, ce réacteur présente la première configuration multi-chambres de l'industrie et est spécifiquement conçu pour un large éventail de besoins des clients. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur GT producteur est équipé d'un système avancé de distribution de gaz PECVD et est capable de délivrer de l'oxynitrure de silicium, du nitrure de silicium et d'autres matériaux diélectriques à des taux élevés de PECVD. Le réacteur dispose également d'une capacité de dépôt de couches renforcées par plasma (PELD) pour créer des couches diélectriques planarisées minces et la capacité d'exécuter des procédés chimiques et mécaniques de polissage (CMP). Les procédés CMP fournissent une couche diélectrique plane non volatile avec d'excellentes propriétés pour les performances du dispositif. Le réacteur GT producteur dispose également d'un système de vanne à haut débit qui permet une commutation rapide entre les états de la chambre, réduisant le temps de traitement. De plus, l'homogénéité du réacteur permet l'intégration de différents modules de procédé. Le réacteur offre également un contrôle d'homogénéité à longue portée, assurant un contrôle précis du procédé dans une vaste zone de traitement. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT offre également une large gamme de fonctions de contrôle des processus, y compris le réglage automatique des processus, la capacité d'auto-apprentissage et le mode « lock-in ». Avec cette technologie, le contrôle des processus est réduit à un niveau plus fin, permettant une productivité et une qualité de produit plus élevées sans sacrifier le rendement et le temps de cycle. Dans l'ensemble, AMAT Producer GT est un réacteur innovant qui allie haute performance et fiabilité à une plate-forme flexible et rentable. Il offre un contrôle de processus supérieur et est capable d'atteindre des performances de pointe dans l'intégration de processus avancés.
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