Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9294490 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9294490
CVD System, 12"
With (2) twin chambers
Wafer shape: SNNF
Local Center Finder (LCF)
Transfer robot type: GT
Load lock chamber pump type: EPX TWIN 180L
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Heaters of FCVD chamber missing
EFEM Chamber with FZ
MKS Astron ex BPSG Chamber
FCVD Chamber
Transfer chamber: 30 mm
Ozone rack
AC Distribution box
(4) Chillers:
THERMO FISHER SCIENTIFIC MX 500W D3
(2) SMC INR–498–012D–X007
SMC INR–496–002D–X007
System rack
(9) Boxes
Frame
PC
Monitor
SMIF/FI:
Type: 5.4
AMHS: OHT
Pre-alignment
Pass through and storage: 8-Slots wafer pass through
(2) Load ports (1 and 4 positions)
FI Controller type:
FE, FI and RT Computer type: IBM 306M
Sub components:
O3 Generator type: MKS ASTEX
Ozone cabinet: INUSA
Heat exchanger type: SMC H2000
Heat exchanger type for O3: MX500
(2) Chambers:
Chamber A:
Type: FCVD Twin
Process: F-Oxide
Heater lift driver: 0190-13840
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 041010-1
Throttle valve: MKS T3Bi
RPS Type: MKS Astron e/ex
Manometer: 5 Torr / 100 Torr
Chamber B:
Type: SACVD Twin
Process: HARP USG
Heater lift driver: 1080-00126
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 021010-1
Throttle valve: MKS 683
RPS Type: MKS Astron EX
Manometer: 20 Torr / 1000 Torr
Process chamber:
Gas box
Face plate
Blocker plate
Input manifold
Output manifold
Teflon manifold
Ceramic isolator
Heater
RF Filter
Pin lift driver
AC Box
Gas delivery:
Gas pallet type
Regulator
Transducer
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 10 SLM
3 / AR / 10 SLM
4 / N2 / 200 SCCM
5 / O2 / 2.5 SLM
6 / N2 Purge / -
7 / Si3H9N / 1 L
9 / HE / 5 SLM
10 / N2 Purge / -
11 / NH3 / 700 SCCM
12 / NH3 / 1 SLM
14 / H2O / 1g/min
15 / AR / 5 SLM
21 / HE / 5 SLM
22 / N2 Purge / -
Chamber B:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 7 SLM
3 / AR / 15 SLM
4 / N2 / 5 SLM
5 / N2 / 10 SLM
6 / O3 Out / -
7 / O3 In / -
8 / O2 / 30 SLM
9 / N2 / 30 SLM
10 / H2O In / 10g/min
11 / H2O Out / -
14 / TEOS / 7g/min
15 / N2 / 50 SLM
21 / HE / 3 SLM
22 / N2 Purge / -
Power supply:
Remote AC line: 208 V, 50/60 Hz
Remote UPS
2009 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est un outil de dépôt de couches minces de matériaux ou de combinaisons de matériaux sur des substrats. L'équipement se compose d'un réacteur à trois chambres, d'une série de pompes et de contrôleurs, et d'un système de gestion thermique avancé. Cette unité complète est conçue pour permettre un dépôt précis de matériaux sur des substrats. La chambre principale du réacteur maintient le substrat, tandis que les deux autres chambres plus petites maintiennent les matériaux à déposer. La machine utilise diverses techniques pour déposer des matériaux sur le substrat, telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et la pulvérisation. Le puissant outil de gestion thermique permet de chauffer et de refroidir convenablement les matériaux pour chaque technique de dépôt. Les substrats sont chargés dans la chambre de dépôt principale du réacteur, ainsi que les matériaux à déposer. Les matériaux sont chauffés à la température appropriée, puis introduits dans la chambre à travers les chambres plus petites. Les gaz et vapeurs produits par la décomposition des matériaux sont évacués par la ligne d'échappement. Au fur et à mesure que les vapeurs et les gaz s'éloignent, le substrat est lentement recouvert du film mince de combinaison de matière désiré. L'actif est hautement personnalisable, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster des paramètres tels que la température, la pression et le débit de gaz pour affiner leur matériau déposé. La personnalisation d'AMAT Producer GT permet aux utilisateurs d'obtenir des dépôts précis de matériaux sur une gamme de substrats, permettant la fabrication d'appareils électroniques complexes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est un outil tout-en-un conçu pour rendre simple et précis le dépôt de couches minces de matériaux. Avec son modèle de gestion thermique robuste, ses paramètres personnalisables et son large éventail de techniques de dépôt, Producer GT est un outil fiable et efficace pour la fabrication électronique moderne.
Il n'y a pas encore de critiques